[發(fā)明專利]平面波導(dǎo)型激光裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201680087881.2
• 申請日: 2016-07-28
• 公開（公告）號: CN109565141B
• 公開（公告）日: 2021-03-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 正田史生;渡邊洋次郎;柳澤隆行
• 申請（專利權(quán)）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: H01S3/063
• 分類號: H01S3/063
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 馬建軍;鄧毅

在平面波導(dǎo)型激光裝置(1)中，在波導(dǎo)(2)的上表面接合有基板(6)。在基板(6)的與激光的振蕩方向垂直的端面的靠波導(dǎo)(2)側(cè)的角部形成有倒角而成的形狀的凹部(6a)。波導(dǎo)(2)的與激光的振蕩方向垂直的端面被涂層(7)包覆。與該涂層(7)連續(xù)的繞入部(7a)包覆波導(dǎo)(2)的朝向基板(6)的凹部(6a)的上表面。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及具有平板狀的波導(dǎo)構(gòu)造的平面波導(dǎo)型激光裝置。

背景技術(shù)

平面波導(dǎo)型激光器具有利用折射率比激光介質(zhì)低的包層夾入在激光的振蕩方向上伸長的薄平板狀的激光介質(zhì)的上下兩面的構(gòu)造，具有使激光介質(zhì)還作為波導(dǎo)發(fā)揮功能的構(gòu)造。該平面波導(dǎo)型激光器的波導(dǎo)厚度較薄，激勵密度較高，因此，在使用感應(yīng)發(fā)射截面面積較小的激光介質(zhì)的情況下，也可得到較大增益，能夠?qū)崿F(xiàn)高效的振蕩動作。進而，通過在寬度方向上擴寬波導(dǎo)，能夠進行使激勵密度保持規(guī)定值的輸出的縮放。

專利文獻1所示的現(xiàn)有的平面波導(dǎo)型激光裝置具有由激光介質(zhì)和與激光介質(zhì)的兩側(cè)接合的包層構(gòu)成的波導(dǎo)。對該波導(dǎo)的端面實施使用電介質(zhì)多層膜的涂層，使得具有期望的光學(xué)特性。另外，為了便于說明，以后，將與激光介質(zhì)的上表面?zhèn)冉雍系陌鼘臃Q作上部包層，將與激光介質(zhì)的下表面?zhèn)冉雍系陌鼘臃Q作下部包層。

在制作平面波導(dǎo)型激光裝置時，具有比激光介質(zhì)小的折射率的上部包層和下部包層通過蒸鍍、光學(xué)接合或光學(xué)粘接劑等方法進行接合，制造成上部包層、激光介質(zhì)和下部包層一體化的波導(dǎo)。針對一體化的波導(dǎo)，對端面部位進行光學(xué)研磨，然后，對光學(xué)研磨面實施涂層，從與波導(dǎo)面垂直的方向切斷，由此，制作多個期望大小的平面波導(dǎo)型激光元件。

現(xiàn)有技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1：國際公開第2009/16703號

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的課題

在平面波導(dǎo)型激光裝置的制作過程中，在對波導(dǎo)的端面即與激光的振蕩方向垂直的方向的面進行光學(xué)研磨的情況下，面有時變形。波導(dǎo)端面的理想形狀是完全垂直的形狀，但是，與其相比，端面的角度有時增大。在該端面角度的增大還涉及激光介質(zhì)的情況下，有時對激光器的特性造成影響。即，存在如下課題：在波導(dǎo)中傳播的激光的波面在端面劣化，光學(xué)損失增大，由此，無法得到期望的激光特性。

此外，在切斷條形狀的平面型波導(dǎo)激光器而成為期望大小的激光元件的切斷工序中，例如使用切割器，刀刃從與波導(dǎo)面垂直的方向入射，由此切斷波導(dǎo)。在針對已經(jīng)對端面實施涂層的波導(dǎo)進行切斷的情況下，有時涂層面從波導(dǎo)端面剝離，有時導(dǎo)致元件制作成品率的降低。因此，在現(xiàn)有的平面波導(dǎo)型激光裝置的制作過程中，存在如下課題：在光學(xué)研磨時端面角度增大，或者在切斷工序時涂層面從波導(dǎo)端面剝離，由此，無法制作可得到期望的激光特性的元件。

此外，在使用具有吸濕性的材料作為激光介質(zhì)的情況下，有時伴隨吸濕而產(chǎn)生激光元件特性的變化。由此，平面波導(dǎo)型激光裝置必須在進行濕度管理的環(huán)境下使用，很難在一般環(huán)境下保管，因此，搬運的煩雜度成為課題。

本發(fā)明正是為了解決上述課題而完成的，其目的在于，抑制平面波導(dǎo)型激光裝置的波導(dǎo)端面的變形，防止涂層面從波導(dǎo)端面剝離的現(xiàn)象，并且提高具有吸濕性的激光介質(zhì)的保管性。

用于解決課題的手段

本發(fā)明的平面波導(dǎo)型激光裝置具有：波導(dǎo)，其具有平板狀的激光介質(zhì)、與激光介質(zhì)的上表面接合的上部包層和與激光介質(zhì)的下表面接合的下部包層；基板，其與波導(dǎo)的上表面接合；凹部，其形狀是基板的與激光的振蕩方向垂直的端面的靠波導(dǎo)側(cè)的角部被倒角而成的；以及涂層，其連續(xù)地包覆波導(dǎo)的與激光的振蕩方向垂直的端面和朝向基板的凹部的上表面。

發(fā)明效果