[發明專利]平面波導型激光裝置

有效

• 申請號: 201680087881.2
• 申請日: 2016-07-28
• 公開（公告）號: CN109565141B
• 公開（公告）日: 2021-03-05
• 發明（設計）人: 正田史生;渡邊洋次郎;柳澤隆行
• 申請（專利權）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: H01S3/063
• 分類號: H01S3/063
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 馬建軍;鄧毅

1.一種平面波導型激光裝置，該平面波導型激光裝置具有：

波導，其具有平板狀的激光介質、與所述激光介質的上表面接合的上部包層和與所述激光介質的下表面接合的下部包層；

基板，其與所述波導的上表面接合；

凹部，其形狀是所述基板的與激光的振蕩方向垂直的端面的靠所述波導側的角部被倒角而成的；以及

涂層，其連續地包覆所述波導的與所述激光的振蕩方向垂直的端面和朝向所述基板的所述凹部的上表面，并且，所述涂層是用于使所述平面波導型激光裝置具有期望的光學特性的電介質多層膜，

所述平面波導型激光裝置通過在垂直于所述端面的方向上切斷所述波導和所述基板而得到。

2.根據權利要求1所述的平面波導型激光裝置，其特征在于，

所述波導是在所述激光介質的上表面或下表面具有凸形狀的脊波導。

3.根據權利要求1所述的平面波導型激光裝置，其特征在于，

所述涂層除了連續地包覆所述波導的所述端面和所述上表面以外，還連續地包覆所述波導的下表面的至少一部分。

4.根據權利要求1所述的平面波導型激光裝置，其特征在于，

所述涂層除了連續地包覆所述波導的所述端面和所述上表面以外，還連續地包覆所述基板的所述凹部和所述基板的所述端面。

5.根據權利要求4所述的平面波導型激光裝置，其特征在于，

所述涂層除了連續地包覆所述波導的所述端面和所述上表面以及所述基板的所述凹部和所述端面以外，還連續地包覆所述基板的上表面的至少一部分。

6.根據權利要求1所述的平面波導型激光裝置，其特征在于，

所述激光介質由具有吸濕性的材料構成。

7.根據權利要求6所述的平面波導型激光裝置，其特征在于，

所述激光介質是摻鉺磷酸鹽玻璃、摻鐿磷酸鹽玻璃、鉺鐿共摻磷酸鹽玻璃或摻釹磷酸鹽玻璃。

8.根據權利要求1所述的平面波導型激光裝置，其特征在于，

所述基板的熱膨脹率與所述激光介質的熱膨脹率相同。

9.根據權利要求1所述的平面波導型激光裝置，其特征在于，

所述上部包層或所述下部包層中的至少一方是相對于所述激光介質通過蒸鍍進行成膜而成的。

10.根據權利要求2所述的平面波導型激光裝置，其特征在于，

所述脊波導在所述激光介質的上表面或下表面具有多個所述凸形狀。

11.根據權利要求2所述的平面波導型激光裝置，其特征在于，

所述脊波導在所述凸形狀的上表面和側面以及所述激光介質的凹形狀上表面蒸鍍有成膜包層。

12.根據權利要求2所述的平面波導型激光裝置，其特征在于，

所述脊波導通過粘接劑粘接于所述基板。