[發(fā)明專利]氣體激光裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201680087553.2
• 申請日: 2016-08-05
• 公開（公告）號: CN109478757B
• 公開（公告）日: 2021-04-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 梅田博;若林理
• 申請（專利權(quán)）人: 極光先進(jìn)雷射株式會社
• 主分類號: H01S3/097
• 分類號: H01S3/097;H02M9/04
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

放電激勵式的氣體激光裝置具有：A.第1放電電極和第2放電電極，它們對置配置；B.多個峰化電容器，它們與第1放電電極連接；C.充電器；D.多個脈沖功率模塊，其中，1個脈沖功率模塊包含了D1.從充電器被施加充電電壓的充電電容器、D2.針對保存在充電電容器中的電能進(jìn)行脈沖壓縮而作為輸出脈沖向相應(yīng)的峰化電容器輸出的脈沖壓縮電路、和D3.配置在充電電容器與脈沖壓縮電路之間的開關(guān)；E.多個輸出脈沖傳感器，其中，1個輸出脈沖傳感器檢測1個脈沖功率模塊輸出的輸出脈沖；以及F.控制部，其根據(jù)各輸出脈沖傳感器的檢測結(jié)果來控制向各開關(guān)輸入的開關(guān)信號的定時。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開涉及放電激勵式的氣體激光裝置。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體集成電路的細(xì)微化、高集成化，在半導(dǎo)體曝光裝置中，要求提高分辨率。以下，將半導(dǎo)體曝光裝置簡稱為“曝光裝置”。因此，從曝光用光源輸出的光的短波長化得以發(fā)展。對于曝光用光源，代替以往的水銀燈而使用放電激勵式的氣體激光裝置。目前，作為曝光用激光裝置，使用輸出波長為248nm的紫外線的KrF準(zhǔn)分子激光裝置以及輸出波長為193.4nm的紫外線的ArF準(zhǔn)分子激光裝置。

作為當(dāng)前的曝光技術(shù)，實際使用了一種液浸曝光，在該液浸曝光中，曝光裝置側(cè)的投影透鏡與晶片之間的間隙填滿了液體，從而改變了該間隙的折射率，由此，將曝光用光源所表現(xiàn)出的波長短波長化。在將ArF準(zhǔn)分子激光裝置用作曝光用光源來進(jìn)行液浸曝光的情況下，在水中的波長為134nm的紫外光照射到晶片上。將該技術(shù)稱為ArF液浸曝光。ArF液浸曝光也被稱為ArF液浸光刻。

KrF、ArF準(zhǔn)分子激光裝置的自然振蕩中的譜線寬度為大約350pm～400pm，是較寬的，因此，通過曝光裝置側(cè)的投影透鏡而投影在晶片上縮小投影的激光(紫外線光)會產(chǎn)生色像差，從而分辨率下降。因此，需要將從氣體激光裝置輸出的激光的譜線寬度窄帶化至達(dá)到能夠無視色像差的程度。因此，在氣體激光裝置的激光諧振器內(nèi)設(shè)置了具有窄帶化元件的窄帶化模塊(Line Narrowing Module)。通過該窄帶化模塊來實現(xiàn)譜線寬度的窄帶化。窄帶化元件可以是標(biāo)準(zhǔn)具或光柵等。像這樣使譜線寬度窄帶化的激光裝置被稱為窄帶化激光裝置。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開平6-283787號公報

專利文獻(xiàn)2：國際公開2014/156818號

專利文獻(xiàn)3：日本特表2005-512333號公報

專利文獻(xiàn)4：日本特開2009-194063號公報

專利文獻(xiàn)5：日本特開平11-177168號公報

專利文獻(xiàn)6：國際公開2015/190012號

發(fā)明內(nèi)容

本公開的1個觀點的放電激勵式的氣體激光裝置具有：A.第1放電電極和第2放電電極，它們對置配置；B.多個峰化電容器，它們與第1放電電極連接；C.充電器；D.多個脈沖功率模塊，1個脈沖功率模塊包含了D1.從充電器被施加充電電壓的充電電容器、D2.針對保存在充電電容器中的電能進(jìn)行脈沖壓縮而作為輸出脈沖向多個峰化電容器中的相應(yīng)的峰化電容器輸出的脈沖壓縮電路、和D3.配置在充電電容器與脈沖壓縮電路之間的開關(guān)；E.多個輸出脈沖傳感器，1個輸出脈沖傳感器檢測1個脈沖功率模塊輸出的輸出脈沖；以F.控制部，其根據(jù)各輸出脈沖傳感器的檢測結(jié)果來控制向各開關(guān)輸入的開關(guān)信號的定時。

附圖說明

以下，作為示例，參照附圖對本公開的幾個實施方式進(jìn)行說明。

圖1是概略地示出比較例的激光裝置的結(jié)構(gòu)的圖。

圖2是從Z方向觀察氣體激光裝置的剖視圖。

圖3是示出PPM(1)～PPM(n)的結(jié)構(gòu)的電路圖。