[發明專利]氣體激光裝置

有效

• 申請號: 201680087553.2
• 申請日: 2016-08-05
• 公開（公告）號: CN109478757B
• 公開（公告）日: 2021-04-16
• 發明（設計）人: 梅田博;若林理
• 申請（專利權）人: 極光先進雷射株式會社
• 主分類號: H01S3/097
• 分類號: H01S3/097;H02M9/04
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

1.一種放電激勵式的氣體激光裝置，其具有：

A.第1放電電極和第2放電電極，它們對置配置；

B.多個峰化電容器，它們與所述第1放電電極連接；

C.充電器；

D.多個脈沖功率模塊，1個脈沖功率模塊包含：D1.被從所述充電器施加充電電壓的充電電容器、D2.針對保存在所述充電電容器中的電能進行脈沖壓縮而作為輸出脈沖向所述多個峰化電容器中的相應的所述峰化電容器輸出的脈沖壓縮電路、和D3.配置在所述充電電容器與所述脈沖壓縮電路之間的開關；

E.多個輸出脈沖傳感器，1個輸出脈沖傳感器檢測1個所述脈沖功率模塊所輸出的所述輸出脈沖；以及

F.控制部，其根據各所述輸出脈沖傳感器的檢測結果來控制向各所述開關輸入的開關信號的定時，

所述控制部通過使向各所述開關輸入的開關信號的定時不同，來控制在所述第1放電電極與第2放電電極之間的放電空間中生成的脈沖激光的脈沖寬度。

2.根據權利要求1所述的氣體激光裝置，其中，

針對每1個所述脈沖功率模塊而設置有1個所述第1放電電極。

3.根據權利要求1所述的氣體激光裝置，其中，

所述控制部根據從外部輸入的目標脈沖寬度來確定向各所述開關輸入的開關信號的定時。

4.根據權利要求1所述的氣體激光裝置，其中，

所述充電器為1個，向所述多個脈沖功率模塊供給恒定的充電電壓。

5.根據權利要求1所述的氣體激光裝置，其中，

針對每一個所述脈沖功率模塊設置有1個所述充電器，

各所述充電器向相應的所述脈沖功率模塊施加充電電壓。

6.根據權利要求5所述的氣體激光裝置，其中，

所述控制部通過使向各所述開關輸入的開關信號的定時不同且使各所述充電器輸出的充電電壓不同，來控制從所述第1放電電極與第2放電電極之間的放電空間輸出的脈沖激光的脈沖波形。

7.根據權利要求6所述的氣體激光裝置，其中，

所述控制部根據從外部輸入的目標脈沖波形來確定向各所述開關輸入的開關信號的定時和各所述充電器輸出的充電電壓。

8.根據權利要求1所述的氣體激光裝置，其中，

所述輸出脈沖傳感器檢測在所述峰化電容器中流動的電流。

9.根據權利要求8所述的氣體激光裝置，其中，

所述輸出脈沖傳感器檢測在所述峰化電容器中流動的電流的上升沿定時或者下降沿定時。

10.根據權利要求1所述的氣體激光裝置，其中，

所述輸出脈沖傳感器檢測施加給所述峰化電容器的電壓。

11.根據權利要求10所述的氣體激光裝置，其中，

所述輸出脈沖傳感器檢測施加給所述峰化電容器的電壓的上升沿定時或者下降沿定時。

12.根據權利要求1所述的氣體激光裝置，其中，

所述脈沖壓縮電路包含至少1個磁開關，

所述輸出脈沖傳感器連接在所述磁開關與所述峰化電容器之間。

13.根據權利要求1所述的氣體激光裝置，其中，

所述控制部根據從外部輸入的外部觸發信號來生成向各所述開關輸入的開關信號。

14.根據權利要求1所述的氣體激光裝置，其中，

該氣體激光裝置還具有：H.脈沖能量計測部，該脈沖能量計測部計測從所述第1放電電極與第2放電電極之間的放電空間輸出的脈沖激光的能量，

所述控制部根據從外部輸入的目標脈沖能量與由所述脈沖能量計測部計測到的脈沖能量之差來變更所述充電電壓。