[發明專利]襯底組件和相關方法

在審

• 申請號: 201680086029.3
• 申請日: 2016-07-22
• 公開（公告）號: CN109311658A
• 公開（公告）日: 2019-02-05
• 發明（設計）人: S·本加利;M·吉里
• 申請（專利權）人: 惠普發展公司;有限責任合伙企業
• 主分類號: B81C1/00
• 分類號: B81C1/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 畢錚;陳嵐

公開了用于微流體設備的示例傳感器裝置和相關方法。在本文所公開的示例中，一種制作用于微流體設備的傳感器裝置的方法包括蝕刻中間層的部分以形成襯底組件中的傳感器腔體，其中襯底組件具有基底層和中間層，并且其中基底層包括第一材料，并且中間層包括不同于第一材料的第二材料。該方法包括在傳感器腔體中形成第一電極和第二電極。該方法還包括形成與傳感器腔體流體連通的流體輸運通道，其中流體輸運通道包括不同于第一材料和第二材料的第三材料。

背景技術

諸如例如流體噴射系統(例如噴墨墨盒)、微流體生物芯片等之類的微流體系統通常采用微流體裝置(或設備)。微流體裝置可以使得能夠操縱和/或控制小體積的流體通過微流體系統的微流體流體通道或網絡。例如，微流體設備可以使得能夠在微升(即符號化為μl并且表示10-6升的單位)、納升(即符號化為nl并且表示10-9升的單位)或皮升(即符號化為pl并且表示10-12升的單位)的量級上操縱和/或控制流體體積。

附圖說明

圖1是依照本文所公開的教導構造的具有示例傳感器裝置的示例微流體系統的框圖。

圖2A是依照本公開的教導構造的具有示例傳感器裝置的示例微流體設備的平面視圖。

圖2B描繪了沿線2B-2B取得的圖2A的示例微流體設備的截面視圖。

圖2C描繪了沿線2C-2C取得的圖2A的示例微流體設備的截面視圖。

圖3是圖2A-2C的示例微流體設備的透視圖。

圖4是圖示了形成本文所公開的示例傳感器裝置的示例方法的流程圖。

圖5是圖示了形成本文所公開的示例傳感器裝置的示例方法的另一流程圖。

圖6-19描繪了制造圖2A-2C和3的示例傳感器裝置的示例方法的各階段處的設備。

圖20是能夠執行機器可讀指令的示例處理器平臺的框圖，所述機器可讀指令用于實現圖4-19的示例方法或過程以形成依照本公開的教導的示例微流體設備。

在任何可能的情況下，將貫穿(多個)圖和隨附的書面描述而使用相同的參考標記來指代相同或相似的部分。

具體實施方式

在以上標識的圖中示出并且在以下詳細描述某些示例。各圖不是按比例的，并且可能為了清楚和/或簡潔而在尺度上夸大或示意性地示出各圖的某些特征和某些視圖。此外，為了清楚起見，已經從(多個)圖中的一些移除本文所公開的示例微流體裝置的一些部件。盡管下文公開了示例方法和裝置，但是應當指出的是，這樣的方法和裝置僅僅是說明性的，并且不應當被視為限制本公開的范圍。

如本文所使用的，參照所描述的圖的取向而使用方向術語，諸如“上”、“下”、“頂”、“底”、“前”、“后”、“前導”、“尾隨”、“左”、“右”等。由于本文所公開的各種示例的部件可以以數個不同的取向定位，因此方向術語用于說明目的并且不意圖是限制性的。

微流體設備通常由微流體系統用于使得能夠操縱流體(例如液體、生物流體等)通過具有流體通道的流體網絡，流體通道具有范圍從幾納米到數百微米的截面尺寸。為了確定關于生物樣品的信息，微流體生物芯片，通常稱為“片上實驗室”系統，采用微流體設備來輸運和/或操縱流體(例如生物樣品)通過例如傳感器或分析器(例如生物傳感器或生物電傳感器)。例如，微流體設備采用定位在流通道的網絡中的傳感器，該流通道流體耦合流體網絡的第一部分(例如第一儲液器或入口)和流體網絡的第二部分(例如第二儲液器或出口)以便在流體流過傳感器時分析流體。