[發明專利]發電系統、管理裝置以及基板處理裝置

有效

• 申請號: 201680082743.5
• 申請日: 2016-09-21
• 公開（公告）號: CN108702107B
• 公開（公告）日: 2020-06-23
• 發明（設計）人: 山峰直利;石津秀雄
• 申請（專利權）人: 株式會社國際電氣
• 主分類號: H02N11/00
• 分類號: H02N11/00;F01K25/10;F01K27/02;H01L21/31;H01L35/30
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 曾賢偉;郝慶芬

1.一種發電系統，其向發電部流入將多個半導體制造裝置冷卻之后的冷卻介質來進行發電，所述發電部分別設置于多個所述半導體制造裝置，并且連接有冷卻所述半導體制造裝置的冷卻介質所流過的多個冷卻介質通路，其中，所述發電系統具備：

第1控制閥門(4a)，其在相比于將多個所述冷卻介質通路合流為一個的上游側，設置于多個所述冷卻介質通路中的每一個；

溫度傳感器(6a)，其在相比于所述第1控制閥門的上游側，設置于多個所述冷卻介質通路中的每一個，來檢測將所述半導體制造裝置冷卻之后的所述冷卻介質的溫度；

旁通路線(7)，其是排出未用于發電的冷卻介質以及在所述發電部(3)中用于發電后的冷卻介質的流路；

分支通路(8a)，其在相比于所述溫度傳感器的上游側，從多個所述冷卻介質通路中的每一個分支，使冷卻介質流入旁通路線；

截止閥門(18a)，其設置在所述分支通路與所述旁通路線(7)之間；

儲存容器(10)，其經由第2控制閥門(11)與從所述第1控制閥門輸出的冷卻介質通路相連接，儲存未流入所述發電部的所述冷卻介質，并且所述儲存容器(10)連接于循環通路(14)，該循環通路(14)使從該儲存容器(10)排出的冷卻介質重新流入所述儲存容器(10)且設置有循環通路閥門(17)；以及

第3控制閥門(3)，其向發電部供給儲存在所述儲存容器中的冷卻介質，

所述第1控制閥門根據將多個所述熱源冷卻之后的各個冷卻介質的溫度來控制所述冷卻介質從多個所述冷卻介質通路向所述發電部的流入，以使流入所述發電部的所述冷卻介質的溫度成為預定的溫度以上，

使流入所述發電部的所述冷卻介質與用于在所述發電部中進行發電的介質的溫度差大于等于70℃且所述冷卻介質的流量小于等于200L/min，或者所述冷卻介質的溫度小于等于130℃。

2.根據權利要求1所述的發電系統，其中，

所述發電系統具備：管理裝置，其構成為能夠與多個所述半導體制造裝置以及發電部進行數據交換，并構成為進行發電的控制以及監視。

3.根據權利要求2所述的發電系統，其中，

通過分別設置在所述冷卻介質通路中的流量檢測部，來檢測所述冷卻介質的流量。

4.根據權利要求3所述的發電系統，其中，

根據將所述半導體制造裝置冷卻之后的各個所述冷卻介質的溫度來計算從多個所述冷卻介質通路中的每一個冷卻介質通路流入所述發電部的所述冷卻介質的流入量，并根據所述流入量來控制設置在多個所述冷卻介質通路中的每一個冷卻介質通路中的第1控制閥門，以使流入所述發電部的所述冷卻介質的溫度成為預定的溫度以上。

5.根據權利要求4所述的發電系統，其中，

當所述冷卻介質的溫度是低于所述預定的溫度的溫度時，控制所述第1控制閥門來關閉所述第1控制閥門。

6.根據權利要求1所述的發電系統，其中，

所述發電部是二進制發電機，所述預定的溫度為90℃以上。

7.根據權利要求6所述的發電系統，其中，

控制加熱部來進行加熱，以使所述儲存容器內的所述冷卻介質保持在預定的溫度以上。

8.根據權利要求7所述的發電系統，其中，

在來自所述半導體制造裝置的所述冷卻介質的溫度或者流量不足時，使所述儲存容器的所述冷卻介質流入所述發電部。

9.根據權利要求1所述的發電系統，其中，

所述發電系統構成為，在所述冷卻介質的溫度或者流量不足，且所述發電部的發電效率在預定值以下時，發出警報。