[發明專利]反射鏡驅動裝置、反射鏡驅動裝置的控制方法及反射鏡驅動裝置的制造方法

有效

• 申請號: 201680081520.7
• 申請日: 2016-12-13
• 公開（公告）號: CN108604008B
• 公開（公告）日: 2020-11-10
• 發明（設計）人: 伊藤恭彥;紺野伸顯;平田善明;吉田幸久
• 申請（專利權）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;B81B3/00
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 張寶榮

反射鏡驅動裝置(100)的一對梁部在俯視觀察下以夾著反射體(11M)的方式與反射體(11M)相連。一對梁部包括：以夾著反射體(11M)的方式與反射體直接相連的一對第一梁(11BL1、11BR1)；以及與一對第一梁(11BL1、11BR1)的與反射體(11M)相反的一側連結的一對第二梁(11BL2、11BR2)。在第一梁(11BL1、11BR1)的主表面上隔著壓電材料相互空出間隔地排列多個電極(14)。第一梁(11BL1、11BR1)沿著與主表面交叉的方向能夠相互向反方向位移。一對第二梁(11BL2、11BR2)在將第一梁(11BL1、11BR1)與第二梁(11BL2、11BR2)連結的沿著第二梁(11BL2、11BR2)的主表面的方向上能夠位移。

技術領域

本發明涉及反射鏡驅動裝置、反射鏡驅動裝置的控制方法及反射鏡驅動裝置的制造方法，特別是涉及在信息通信或距離測量中使用的用于使入射光的反射方向及焦點位置變化的反射鏡驅動裝置。

背景技術

以往，已知有通過對反射鏡進行支承的梁的彎曲變形而使反射鏡的姿勢及位移變化，使向反射鏡入射的光的反射方向及焦點位置變化的反射鏡驅動裝置。例如在國際公開第2003/062899號(專利文獻1)中，公開了在基板上形成有壓電元件的光開關，該壓電元件由反射鏡元件、薄膜壓電體、電極及彈性體構成。在此通過向電極施加電壓而使薄膜壓電體撓曲變形，并利用與之相伴的反射鏡元件的繞旋轉軸的旋轉來驅動反射鏡元件。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：國際公開第2003/062899號

發明內容

發明要解決的課題

在國際公開第2003/062899號的光開關中，通過變形吸收部來連接反射鏡元件與彈性體。該光開關向多個薄膜壓電體分別施加不同的電壓而驅動反射鏡元件。這種情況下，特別是如果載置薄膜壓電體的梁與反射鏡元件通過MEMS(Micro Electro MechanicalSystems，微機電系統)技術等而形成作為一體的構件，則在光開關的驅動時容易向反射鏡元件施加應力，擔憂存在反射鏡元件的平面度下降的可能性。這是由配置在上述梁與反射鏡元件之間并將兩者連接的變形吸收部的作用引起的。如果反射鏡元件的平面度下降，則存在使反射鏡元件的反射光的特性下降的可能性。

本發明鑒于以上的問題而作出，其目的在于提供一種即使載置壓電材料的梁與反射鏡元件形成為一體，也能夠降低該梁與反射鏡元件之間的應力，抑制反射鏡元件的平面度的下降的反射鏡驅動裝置、反射鏡驅動裝置的控制方法及反射鏡驅動裝置的制造方法。

用于解決課題的方案

本發明的反射鏡驅動裝置具備反射體和一對梁部。反射體能夠對入射光進行反射。一對梁部在俯視觀察下以夾著反射體的方式與反射體相連。一對梁部包括：以夾著反射體的方式與反射體直接相連的一對第一梁；以及與一對第一梁的與反射體相反的一側連結的一對第二梁。在一對第一梁的主表面上隔著壓電材料相互空出間隔地排列多個電極。一對第一梁沿著與主表面交叉的方向能夠相互向反方向位移。反射體與一對第一梁直接相連的第一交界部能夠在與主表面交叉的方向上位移，一對第一梁的寬度比反射體的寬度小。一對第二梁能夠在將一對第一梁與一對第二梁連結并沿著第二梁的主表面的方向上位移。能夠向多個電極中的接近反射體的一側的第一電極和與第一電極相鄰的第二電極施加符號互為相反的電壓。利用電壓引起的壓電材料的變形，反射體能夠繞與連結反射體和一對第一梁的第一交界部而成的直線正交的軸傾斜。向一對第一梁中的一方的第一梁的第一電極和一對第一梁中的與一方不同的另一方的第一梁的第一電極施加絕對值相同而符號互為相反的電壓。向一對第一梁中的一方的第一梁的第二電極和一對第一梁中的另一方的第一梁的第二電極施加絕對值相同而符號互為相反的電壓。反射鏡驅動裝置配置有包括一對第一梁和一對第二梁的多個列。多個列包含的第一列與第二列在俯視觀察下相互交叉地配置。