[發明專利]反射鏡驅動裝置、反射鏡驅動裝置的控制方法及反射鏡驅動裝置的制造方法

有效

• 申請號: 201680081520.7
• 申請日: 2016-12-13
• 公開（公告）號: CN108604008B
• 公開（公告）日: 2020-11-10
• 發明（設計）人: 伊藤恭彥;紺野伸顯;平田善明;吉田幸久
• 申請（專利權）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;B81B3/00
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 張寶榮

1.一種反射鏡驅動裝置，其中，具備：

反射體，所述反射體能夠對入射光進行反射；及

一對梁部，所述一對梁部在俯視觀察下以夾著所述反射體的方式與所述反射體相連，

所述一對梁部包括：以夾著所述反射體的方式與所述反射體直接相連的一對第一梁；以及與所述一對第一梁的與所述反射體相反的一側連結的一對第二梁，

在所述一對第一梁的主表面上隔著壓電材料相互空出間隔地排列多個電極，

所述一對第一梁能夠沿著與所述主表面交叉的方向相互向反方向位移，

所述反射體與所述一對第一梁直接相連的第一交界部能夠在與所述主表面交叉的方向上位移，所述一對第一梁的寬度比所述反射體的寬度小，

所述一對第二梁能夠在將所述一對第一梁與所述一對第二梁連結并沿著所述第二梁的主表面的方向上位移，

能夠向多個所述電極中的接近所述反射體的一側的第一電極和與所述第一電極相鄰的第二電極施加符號互為相反的電壓，

利用所述電壓引起的所述壓電材料的變形，所述反射體能夠繞與連結所述反射體和所述一對第一梁的所述第一交界部而成的直線正交的軸傾斜，

向所述一對第一梁中的一方的所述第一梁的所述第一電極和所述一對第一梁中的與所述一方不同的另一方的所述第一梁的所述第一電極施加絕對值相同而符號互為相反的電壓，

向所述一對第一梁中的所述一方的所述第一梁的所述第二電極和所述一對第一梁中的所述另一方的所述第一梁的所述第二電極施加絕對值相同而符號互為相反的電壓，

所述反射鏡驅動裝置配置有包括所述一對第一梁和所述一對第二梁的多個列，

多個所述列包含的第一列與第二列在俯視觀察下相互交叉地配置。

2.根據權利要求1所述的反射鏡驅動裝置，其中，

所述第一交界部能夠追隨所述一對第一梁的位移而進行位移。

3.根據權利要求1或2所述的反射鏡驅動裝置，其中，

為了使所述反射體傾斜，能夠以使中心角θ1與中心角θ2之間

θ1＝α·θ2的關系成立的方式向所述壓電材料施加電場，

其中，所述中心角θ1是向所述第一電極施加的電壓產生的、由在俯視下與所述第一電極重疊的區域形成的圓弧的中心角，所述中心角θ2是向所述第二電極施加的電壓產生的、由在俯視下與所述第二電極重疊的區域形成的圓弧的中心角，所述α的值被確定成使得下述兩個坐標之間的誤差的量最小，并且，使得下述兩個傾斜角度之間的誤差的量最小，所述兩個坐標中的一個為在所述第一梁的與所述反射體的所述第一交界部的所述第一梁上所述多個電極和所述壓電材料層疊的方向的坐標，所述兩個坐標中的另一個為在所述反射體的所述第一交界部側的端部的所述第一梁上所述多個電極和所述壓電材料層疊的方向的坐標，所述兩個傾斜角度中的一個是所述反射體的相對于連結所述反射體和所述第一梁部的方向的傾斜角度，所述兩個傾斜角度中的另一個是所述第一梁的所述第一交界部的相對于所述連結方向的傾斜角度。