[發明專利]高純度三甲硅烷基胺、制備方法和用途

有效

• 申請號: 201680080583.0
• 申請日: 2016-12-16
• 公開（公告）號: CN108602840B
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發明（設計）人: B·M·凱托拉;J·A·馬多克;B·D·瑞肯;M·D·泰爾根霍夫;X·周
• 申請（專利權）人: 南大光電半導體材料有限公司
• 主分類號: C07F7/10
• 分類號: C07F7/10;C07F7/20
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 吳亦華

1.一種制備甲硅烷基胺的方法，所述方法包括：使氨和包含氨基硅烷官能團的化合物在足以引起反應的條件下混合，以形成甲硅烷基胺和副產物，其中所述包含氨基硅烷官能團的化合物根據式(I)

R¹N(R²)_a(SiH₃)_2-a (I)，

其中R¹為C_1-20烴基基團，R²為C_1-20烴基基團，下標a為1，前提條件是除R¹為苯基，R²不為苯基之外，R¹和R²可相同或不同，其中所述足夠的條件包括-20℃至150℃的溫度和大于102kPa的壓力。

2.根據權利要求1所述的方法，其中所述甲硅烷基胺為三甲硅烷基胺N(SiH₃)₃。

3.根據權利要求1所述的方法，其中所述溫度為0℃至75℃。

4.根據權利要求1所述的方法，其中R¹為具有3至6個碳原子的支鏈烷基，并且每個R²獨立地為R¹。

5.根據權利要求1所述的方法，其中將溶劑與所述氨和所述化合物混合。

6.一種制備甲硅烷基胺的方法，所述方法包括：

i)混合如下組分：

A)包含仲胺的化合物，其中所述包含仲胺的化合物根據式(III)

R¹N(R²)_aH_2-a (III)，

其中R¹為C_1-20烴基，每個R²獨立地為C_1-20烴基，并且下標a為1，

B)甲硅烷SiH₄，以及

C)催化劑，其中所述催化劑包含鎂或硼，其中所述催化劑通過使包含下式的化合物的預催化劑混合形成：式R⁵₂Mg，其中每個R⁵獨立地為C_1-20烴基；或式Mg(NR⁶₂)₂，其中每個R⁶獨立地為具有1至10個碳原子的烴基或三甲基甲硅烷基；或者其中所述催化劑是具有式BR⁴₃的硼催化劑，其中每個R⁴獨立地為路易斯酸基團，

其中A)、B)和C)在足以形成氨基硅烷化合物和氫氣的條件下混合，其中所述氨基硅烷根據式(I)

R¹N(R²)_a(H)_c(SiH₃)_2-a-c (I)，

其中每個R¹、R²和下標a獨立地如對式(III)所定義，c為0，并且a+c2，

前提條件是相比于所述包含仲胺的化合物，i)中產生的所述氨基硅烷多出至少一個氮鍵合的-SiH₃基團，以及

ii)使氨與(i)中產生的所述氨基硅烷化合物在足以形成甲硅烷基胺和副產物的條件下混合，其中i)和ii)中所述足夠的條件包括-20℃至150℃的溫度和大于102kPa的壓力。

7.根據權利要求6所述的方法，所述方法還包括iii)將ii)中形成的所述副產物混入i)中，其中ii)中形成的所述副產物作為A)包含仲胺的化合物混入i)中。

8.根據權利要求6所述的方法，其中R¹為具有3至6個碳原子的支鏈烷基，并且每個R²＝R¹。