[發明專利]針對重復率相關性能變量的在線校準

有效

• 申請號: 201680073543.3
• 申請日: 2016-10-18
• 公開（公告）號: CN108474689B
• 公開（公告）日: 2021-01-15
• 發明（設計）人: J·J·索內斯;T·亞加瓦爾;K·M·奧布里恩;F·埃弗茨;H·P·戈德弗里德;R·A·布爾德特
• 申請（專利權）人: 西默有限公司;ASML荷蘭有限公司
• 主分類號: G01J1/42
• 分類號: G01J1/42;G01J3/28;G03F7/20;H01S3/13
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 王茂華;呂世磊

1.一種照射系統，包括：

激光器，能夠以多個重復率運行；

激光器控制單元，可操作地連接到所述激光器，用于控制所述激光器以其進行操作的重復率；

測量單元，被布置為測量來自所述激光器的輸出，用于以重復率測量所述激光器的至少一個操作參數；

比較單元，可操作地連接到所述測量單元，用于提供所述操作參數的測量值是否在所述操作參數的值的預定范圍內的指示；以及

存儲單元，可操作地連接到所述比較單元，用于存儲基于所述指示并且與所述重復率相關聯的值；

所述激光器控制單元可操作地連接到所述存儲單元，并且被配置為僅當與所述重復率相關聯地存儲的所述值指示所述操作參數被測量為處于所述預定范圍內時，才允許所述激光器以所述重復率來操作。

2.根據權利要求1所述的照射系統，其中所述至少一個操作參數是能量穩定性。

3.根據權利要求1所述的照射系統，其中所述至少一個操作參數是帶寬穩定性。

4.根據權利要求1所述的照射系統，其中所述至少一個操作參數是波長穩定性。

5.根據權利要求1所述的照射系統，其中所述至少一個操作參數是射束形狀穩定性。

6.根據權利要求1所述的照射系統，其中所述至少一個操作參數是致動器輸出。

7.一種照射系統，包括：

激光器，能夠以多個重復率運行；

激光器控制單元，可操作地連接到所述激光器，用于驅動所述激光器以多個重復率來順序地操作；

測量單元，被布置為測量來自所述激光器的輸出，用于針對所述多個重復率中的每個重復率測量所述激光器的至少一個操作參數；

比較單元，可操作地連接至所述測量單元，用于針對所述多個重復率中的每個重復率提供所述操作參數的測量值是否在值的預定范圍內的指示；以及

存儲單元，可操作地連接到所述比較單元，用于針對所述多個重復率中的每個重復率存儲基于所述指示的第一值以及指示以其獲得所述值的所述重復率的第二值；并且

所述激光器控制單元可操作地連接到所述存儲單元，并且被配置為僅當所選擇的重復率是所述多個重復率中的、與所述重復率相關聯地存儲的值針對其指示所述操作參數被測量為在所述預定范圍內的重復率時，才允許所述激光器以所選擇的重復率來操作。

8.根據權利要求7所述的照射系統，其中所述至少一個操作參數是能量穩定性。

9.根據權利要求7所述的照射系統，其中所述至少一個操作參數是帶寬穩定性。

10.根據權利要求7所述的照射系統，其中所述至少一個操作參數是波長穩定性。

11.根據權利要求7所述的照射系統，其中所述至少一個操作參數是射束形狀穩定性。

12.根據權利要求7所述的照射系統，其中所述至少一個操作參數是致動器輸出。

13.根據權利要求7所述的照射系統，其中可操作地連接到所述激光器以用于驅動所述激光器以多個重復率順序地操作的所述激光器控制單元被配置為：使所述激光器通過一系列重復率步進。

14.根據權利要求13所述的照射系統，其中可操作地連接至所述激光器以用于驅動所述激光器以多個重復率順序地操作的所述激光器控制單元被配置為：使所述激光器通過一系列重復率步進，其中重復率在步進之間的差保持基本恒定。

15.根據權利要求13所述的照射系統，其中可操作地連接到所述激光器以用于驅動所述激光器以多個重復率順序地操作的所述激光器控制單元被配置為：使所述激光器通過一系列重復率步進，其中重復率在步進之間的差隨著重復率而增加。