[發明專利]針對重復率相關性能變量的在線校準

有效

• 申請號: 201680073543.3
• 申請日: 2016-10-18
• 公開（公告）號: CN108474689B
• 公開（公告）日: 2021-01-15
• 發明（設計）人: J·J·索內斯;T·亞加瓦爾;K·M·奧布里恩;F·埃弗茨;H·P·戈德弗里德;R·A·布爾德特
• 申請（專利權）人: 西默有限公司;ASML荷蘭有限公司
• 主分類號: G01J1/42
• 分類號: G01J1/42;G01J3/28;G03F7/20;H01S3/13
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 王茂華;呂世磊

公開了根據激光器以其被操作的重復率對激光器性能的在線校準。校準可以是周期性的，并且可以在非曝光時段期間的計劃期間進行。可以使用各種標準來自動選擇產生可靠的符合規范的性能的重復率。然后使重復率的可靠值可用于掃描儀以作為所允許的值，并且然后允許激光器/掃描儀系統使用那些允許的重復率。

相關申請的交叉引用

本申請要求于2015年12月21日提交的標題為“針對重復率相關性能變量的在線校準(ONLINE CALIBRATION FOR REPETITION RATE DEPENDENT PERFORMANCE VARIABLE)”的美國實用專利申請No.14/976,829的權益，其全部內容通過引用并入本文。

技術領域

本公開涉及激光源的在線校準，該激光源產生電磁光譜的深紫外(“DUV”)部分的輻射。

背景技術

用于半導體光刻的激光輻射通常被供應為指定重復率的一系列脈沖。為了實現工藝的均一性，期望激光器能夠滿足一組性能規范，例如，在所有預期的操作條件下的帶寬、波長和能量穩定性。這些激光器性能參數可能會受到激光器以其運行的重復率的影響。因此，不能假定激光器會在所能夠操作的所有重復率下滿足性能規范。但是，可能期望選擇以不同重復率來進行操作。例如，改變激光器的輸出功率的常用方法是減小重復率，而不是減少每個脈沖的輸出能量。

通過以固定的重復率(例如，6kHz)操作激光器，可以利用重復率對性能的未知變化進行工程設計。然而，這具有缺點，即，如果期望使用較低的有效重復率，則與激光源相關聯的掃描儀必須阻止或以其他方式衰減脈沖，因為源自激光器的實際脈沖數將保持相同。這意味著與如果在希望時可以降低實際激光重復率的情況下所需的激光脈沖相比，更多激光脈沖用于晶片生產。

因此，需要能夠提供一種激光源，該激光源可以以多個可用重復率中的任何一個來操作，而不用擔心激光源可能未在可接受的性能規范內操作。

發明內容

以下給出一個或多個實施例的簡要發明內容，來提供對實施例的基本理解。該發明內容不是對所有預期實施例的廣泛概述，并且不旨在標識所有實施例的關鍵或重要要素，也不旨在描繪任何或所有實施例的范圍。其唯一目的是以簡化形式提供一個或多個實施例的一些概念，作為稍后呈現的更詳細描述的序言。

根據一個方面，公開了一種系統，包括：能夠以多個重復率運行的激光器；可操作地連接到激光器的激光器控制單元，用于控制激光器以其進行操作的重復率；測量單元，被布置為測量來自激光器的輸出，用于以重復率測量激光器的至少一個操作參數；可操作地連接到測量單元的比較單元，用于提供操作參數的測量值是否在操作參數的值的預定范圍內的指示；以及可操作地連接到比較單元的存儲單元，用于存儲基于該指示并且與重復率相關聯的值。激光器控制單元可操作地連接到存儲單元并且被配置為僅當與第一重復率相關聯地存儲的值指示操作參數被測量為處于預定范圍內時，才允許激光器以重復率來操作。操作參數可以是能量穩定性、帶寬穩定性、波長穩定性、射束形狀穩定性、致動器狀態或這些中的一些或全部的一些組合。