[發明專利]有機膜組合物以及形成圖案的方法

有效

• 申請號: 201680072484.8
• 申請日: 2016-09-22
• 公開（公告）號: CN108431691B
• 公開（公告）日: 2021-09-07
• 發明（設計）人: 崔有廷;林栽范;許柳美;姜善惠;文秀賢
• 申請（專利權）人: 三星SDI株式會社
• 主分類號: G03F7/11
• 分類號: G03F7/11;G03F7/09;G03F7/00;C08G61/10;C08K5/00
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 李艷;臧建明

1.一種硬掩膜組合物，其特征在于，包括：

包含由化學式1表示的結構單元的聚合物；

由化學式2表示的添加劑；及

溶劑，

[化學式1]

在化學式1中，

A¹為自族群1及族群2的化合物中的一者衍生的二價環基且所述二價環基 的至少一個氫原子可經置換或未經置換，

B¹由化學式3表示的二價有機基團，且

*為連接點，

[族群1]

在族群1中，

M為經取代或未經取代的C1至C5亞烷基、-O-、-S-、-SO₂-或羰基，

[族群2]

在族群2中，

R⁰及R¹獨立地為氫、羥基、甲氧基、乙氧基、鹵素原子、含鹵素的基團、經取代或未經取代的C1至C30烷基、經取代或未經取代的C6至C30芳基或其組合，

[化學式3]

在化學式3中，

a及b獨立地為0至2的整數，且

L為自族群1的化合物中的一者衍生的二價環基且所述二價環基 的至少一個氫原子可經置換或未經置換，或自族群3的基團中的一者衍生的二價環基，

[族群3]

在族群3中，

X¹及X²獨立地為經取代或未經取代的C6至C50亞芳基、經取代或未經取代的C1至C10含環氧烷的基團或其組合，

Y¹及Y²獨立地為氫、羥基、甲氧基、乙氧基、鹵素、經取代或未經取代的C6至C30芳基或其組合，其限制條件為Y¹及Y²中的至少一者為經取代或未經取代的C6至C30芳基，

Z⁷至Z¹⁰獨立地為羥基、甲氧基、乙氧基、鹵素、經取代或未經取代的C6至C30芳基、經取代或未經取代的C3至C30環烯基、經取代或未經取代的C1至C20烷胺基、經取代或未經取代的C7至C20芳基烷基、經取代或未經取代的C1至C20雜烷基、經取代或未經取代的C2至C30雜環烷基、經取代或未經取代的C2至C30雜芳基、經取代或未經取代的C1至C4烷基醚基、經取代或未經取代的C7至C20芳基亞烷基醚基、經取代或未經取代的C1至C30鹵烷基或其組合，

g、h、i及j獨立地為0至2的整數，

k為1至3的整數，且

“*”為連接點，

[化學式2]

在化學式2中，

k、m以及n獨立地為0或1，且k、m以及n的總和為2或3，

當k+m+n為3時，X為-CH-或氮(N)，且

當k+m+n為2時，X為直接鍵、-(C_qH_2q)-、-(C_tR^w_2t)-、氧(O)、硫(S)或-S(O₂)-，其中q及t獨立地為1至5的整數，且R^w為經取代或未經取代的C1至C20烷基、經取代或未經取代的C6至C30芳基、經取代或未經取代的C3至C30環烯基、經取代或未經取代的C1至C20烷胺基、經取代或未經取代的C7至C20芳基烷基、經取代或未經取代的C1至C20雜烷基、經取代或未經取代的C2至C30雜環烷基、經取代或未經取代的C2至C30雜芳基、經取代或未經取代的C1至C4烷基醚基、經取代或未經取代的C7至C20芳基亞烷基醚基、經取代或未經取代的C1至C30鹵烷基、經取代或未經取代的C2至C20烯基或其組合，R、R'及R獨立地為氫、羥基、經取代或未經取代的C3至C30單價環基、經取代或未經取代的C1至C30單價直鏈基團或其組合。

2.如權利要求1所述的硬掩膜組合物，其中在族群3中，X¹及X²獨立地為經取代或未經取代的C6至C50亞芳基，其中所述C6至C50亞芳基為自族群4的化合物中的一者衍生的二價基團：

[族群4]