[發明專利]處理設備和用于處理工件的方法

在審

• 申請號: 201680071890.2
• 申請日: 2016-10-20
• 公開（公告）號: CN108369066A
• 公開（公告）日: 2018-08-03
• 發明（設計）人: O·伊格勞爾;K·沃爾;迪特馬爾·威蘭
• 申請（專利權）人: 杜爾系統股份公司
• 主分類號: F26B21/02
• 分類號: F26B21/02
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種用于處理工件的處理設備(100)，包括：

-處理室，所述處理室包括多個處理室區段，所述處理室區段各自被分配給所述處理設備(100)的多個單獨的循環空氣模塊(116)中的一個；

-加熱設備(126)，所述加熱設備包括自身閉合的加熱氣體管道(136)，

其中特別為了加熱被引導穿過所述處理室區段(114)的氣體，多個循環空氣模塊(116)聯接所述加熱氣體管道(136)。

2.根據權利要求1所述的處理設備(100)，其特征在于，所述加熱設備(126)包括加熱裝置(128)和熱交換器(134)，借助所述熱交換器在所述加熱裝置(128)中產生的熱量能夠傳遞到在所述加熱氣體管道(136)中引導的加熱氣體上。

3.根據權利要求1或2所述的處理設備(100)，其特征在于，所述加熱氣體管道(136)包括中央加熱氣體管線(138)，在所述中央加熱氣體管線中引導或能夠引導加熱氣體并且借助所述中央加熱氣體管線能夠將來自所述加熱氣體管道(136)的加熱氣體供應給所述多個循環空氣模塊(116)和/或所述處理室區段(114)，其中所述加熱氣體能夠被導入到各自處理室區段(114)中。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的處理設備(100)，其特征在于，所述加熱氣體管道(136)包括中央加熱氣體管線(138)，在所述中央加熱氣體管線中引導或能夠引導加熱氣體并且借助所述中央加熱氣體管線能夠從所述循環空氣模塊(116)和/或從所述處理室區段(114)排出氣體。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的處理設備(100)，其特征在于，所述加熱氣體管道(136)包括中央加熱氣體管線(138)，借助所述中央加熱氣體管線能夠環形地將加熱氣體從用于加熱所述加熱氣體的熱交換器(134)引導到所述多個循環空氣模塊(116)和/或處理室區段(114)并再次返回到所述熱交換器(134)。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的處理設備(100)，其特征在于，所述處理設備(100)包括與所述加熱設備(126)不同的和/或獨立于所述加熱設備的新鮮氣體供應裝置(160)，借助所述新鮮氣體供應裝置能夠將新鮮氣體供應給所述處理室(112)。

7.根據權利要求1至6中任一項所述的處理設備(100)，其特征在于，所述處理設備(100)包括新鮮氣體供應裝置(160)，借助所述新鮮氣體供應裝置能夠將新鮮氣體供應給在所述加熱氣體管道(136)中引導的加熱氣流。

8.根據權利要求1至7中任一項所述的處理設備(100)，其特征在于，所述加熱氣體管道(136)包括多個分支(146)或支管(144)用于將在所述加熱氣體管道(136)中引導的加熱氣流分配到所述循環空氣模塊(116)和/或處理室區段(114)。

9.根據權利要求1至8中任一項所述的處理設備(100)，其特征在于，所述加熱氣體管道(136)具有主支管(180)，借助所述主支管能夠劃分加熱氣體整體流為第一加熱氣體部分流和第二加熱氣體部分流，其中能夠將所述第一加熱氣體部分流供應給關于所述處理設備(100)的輸送裝置(108)的輸送方向(110)的第一循環空氣模塊(116)或第一至第n循環空氣模塊(116)和/或第一處理室區段(114)或第一至第n處理室區段(114)并且其中能夠劃分所述第二加熱氣體部分流到所有其它循環空氣模塊(116)和/或處理室區段(114)。

10.根據權利要求1至9中任一項所述的處理設備(100)，其特征在于，所述加熱氣體管道(136)包括用于聚集引導從所述循環空氣模塊(116)和/或處理室區段(114)排出的多個氣流的多個聚集管道。