[發明專利]檢查裝置及檢查方法

有效

• 申請號: 201680070354.0
• 申請日: 2016-11-15
• 公開（公告）號: CN108369211B
• 公開（公告）日: 2021-12-07
• 發明（設計）人: 中村共則
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: G01N27/72
• 分類號: G01N27/72;G01R31/302
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

1.一種檢查裝置，其特征在于，

是進行測量對象物的檢查的檢查裝置，

具備：

光輸出部，其輸出具有第1波長的第1光、及具有與所述第1波長不同的第2波長的第2光；

磁光晶體，其具有反射所述第1光的反射面，且以該反射面與所述測量對象物相對的方式配置；

光檢測部，其檢測所述第1光及所述第2光；及

導光光學系統，其由多個光學元件構成，將所述第1光及所述第2光朝向所述磁光晶體及所述測量對象物進行導光，且將由所述磁光晶體反射的所述第1光、與由所述測量對象物反射的所述第2光朝向所述光檢測部進行導光，

所述導光光學系統具有：

將所述第1光的一個偏光成分導光至所述光檢測部的偏光控制元件，

將所述第2光的一個偏光成分導光至所述光檢測部的偏光控制元件，以及

在將通過所述磁光晶體反射的所述第1光和通過所述測量對象物反射的所述第2光朝向所述光檢測部進行導光的光路中，配置于所述偏光控制元件的前段側的、以所述第1光及所述第2光選擇性地入射至所述光檢測部的方式，切換由所述多個光學元件形成的光路的光路切換元件，

所述光路切換元件由分色鏡(61)構成。

2.如權利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，

所述光輸出部具有出射所述第1光的第1光源、與出射所述第2光的第2光源。

3.如權利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，

所述光檢測部具有檢測所述第1光的第1光傳感器、與檢測所述第2光的第2光傳感器。

4.如權利要求2所述的檢查裝置，其特征在于，

所述光檢測部具有檢測所述第1光的第1光傳感器、與檢測所述第2光的第2光傳感器。

5.如權利要求1～4中任一項所述的檢查裝置，其特征在于，

所述導光光學系統還具有將所述第1光的另一個偏光成分導光至所述光檢測部的偏光控制元件。

6.如權利要求1～4中任一項所述的檢查裝置，其特征在于，

所述測量對象物是半導體器件。

7.如權利要求5所述的檢查裝置，其特征在于，

所述測量對象物是半導體器件。

8.如權利要求1～4中任一項所述的檢查裝置，其特征在于，

所述第1波長是短于所述第2波長的波長。

9.如權利要求5所述的檢查裝置，其特征在于，

所述第1波長是短于所述第2波長的波長。

10.如權利要求6所述的檢查裝置，其特征在于，

所述第1波長是短于所述第2波長的波長。

11.如權利要求7所述的檢查裝置，其特征在于，

所述第1波長是短于所述第2波長的波長。

12.一種檢查方法，其特征在于，

是使用以與測量對象物相對的方式配置的磁光晶體進行所述測量對象物的檢查的檢查方法，

具備將具有第1波長的第1光、及具有與所述第1波長不同的第2波長的第2光通過導光光學系統導光至所述磁光晶體及所述測量對象物，且檢測由所述磁光晶體或所述測量對象物反射的所述第1光及所述第2光的步驟，

所述步驟包括：

自光輸出部輸出所述第1光，且將所述第1光通過分色鏡進行導光，以光檢測部檢測所述第1光的步驟；

以所述第2光入射至所述光檢測部的方式、通過所述分色鏡來選擇性地切換所述導光光學系統的光路的步驟；及

自所述光輸出部輸出所述第2光，且將所述第2光通過所述分色鏡進行導光，以所述光檢測部檢測所述第2光的步驟。