[發明專利]板狀玻璃及其制造方法

有效

• 申請號: 201680070288.7
• 申請日: 2016-12-02
• 公開（公告）號: CN108290777B
• 公開（公告）日: 2022-08-02
• 發明（設計）人: 片山裕貴
• 申請（專利權）人: 日本電氣硝子株式會社
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00;H01L21/02;H01L21/683
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 劉影娜

1.一種板狀玻璃的制造方法，其是制造在周緣部具有缺口部的圓盤狀的板狀玻璃的方法，所述板狀玻璃的制造方法的特征在于，包括：

將所述缺口部的位置對齊地層疊多個所述板狀玻璃的工序；以及

對所述缺口部實施蝕刻處理的工序，

在層疊所述多個所述板狀玻璃的所述工序中，利用保持件將所述多個所述板狀玻璃以層疊的狀態保持，

所述保持件具備載置所述多個所述板狀玻璃的作為第一構件的載置臺和重疊于所述載置臺的第二構件，

所述載置臺具備載置所述多個所述板狀玻璃的主體部和用于將所述主體部與所述第二構件連結的連結部，

所述連結部具有多個棒狀構件，

在層疊所述多個所述板狀玻璃的所述工序中，當在所述載置臺的所述主體部裝載有所述板狀玻璃時，所述棒狀構件不與所述板狀玻璃的所述周緣部接觸而位于與所述周緣部分離開的位置，

在層疊所述多個所述板狀玻璃的所述工序中，利用以裝卸自如的方式或者以能夠移動的方式安裝于載置所述多個所述板狀玻璃的所述載置臺的定位構件，來將所述缺口部的位置對齊，

所述定位構件包括能夠與所述缺口部接觸的第一定位構件和能夠與除了所述缺口部以外的所述周緣部接觸的第二定位構件，

所述載置臺具備將所述第一定位構件支承為能夠裝卸的第一孔部和將所述第二定位構件支承為能夠裝卸的第二孔部，

在層疊所述多個所述板狀玻璃的所述工序中，使支承于所述第一孔部的所述第一定位構件與所述缺口部接觸，使支承于所述第二孔部的所述第二定位構件與除了所述缺口部以外的所述周緣部接觸，由此將所述缺口部的位置對齊，

在層疊所述多個所述板狀玻璃的所述工序中，在所述第一定位構件及所述第二定位構件對所述板狀玻璃的定位結束之后，利用所述連結部將所述載置臺的所述主體部與所述第二構件連結，

在層疊所述多個所述板狀玻璃的所述工序中，在所述載置臺與所述第二構件的連結結束之后、且實施所述蝕刻處理的所述工序之前，所述第一定位構件被從所述第一孔部取下，且所述第二定位構件被從所述第二孔部取下，由此所述第一定位構件及所述第二定位構件與所述缺口部及除了所述缺口部以外的所述周緣部分離，

在實施所述蝕刻處理的所述工序中，所述連結部的所述棒狀構件不與所述板狀玻璃的所述周緣部接觸而位于與所述周緣部分離開的位置。

2.根據權利要求1所述的板狀玻璃的制造方法，其特征在于，

所述載置臺具有載置所述板狀玻璃的支承面，所述支承面相對于水平方向呈傾斜狀地配置。

3.根據權利要求1或2所述的板狀玻璃的制造方法，其特征在于，

在所述多個所述板狀玻璃之間形成保護層。

4.根據權利要求3所述的板狀玻璃的制造方法，其特征在于，

所述保護層由液體構成。

5.根據權利要求1或2所述的板狀玻璃的制造方法，其特征在于，

所述第二構件具有能夠供所述定位構件穿過的貫通孔，

在層疊所述多個所述板狀玻璃的所述工序中，在將所述載置臺與所述第二構件連結時，使所述定位構件穿過所述貫通孔并且將所述第二構件重疊于所述載置臺，

在實施所述蝕刻處理的所述工序中，對所述板狀玻璃的所述缺口部和所述板狀玻璃的除所述缺口部以外的所述周緣部實施蝕刻處理。