[發明專利]多點測量用應變傳感器及其制造方法

有效

• 申請號: 201680069985.0
• 申請日: 2016-10-14
• 公開（公告）號: CN108291798B
• 公開（公告）日: 2019-11-12
• 發明（設計）人: 中村一登;坂田喜博;川島永嗣;竹村六佑;岡本好司;永井宏之
• 申請（專利權）人: NISSHA株式會社
• 主分類號: G01B7/16
• 分類號: G01B7/16
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 玉昌峰;紀秀鳳

課題為提供一種不會發生因貼合時的錯位而產生的導通不良并可以降低材料費的多點測量用應變傳感器及其制造方法。作為解決課題的方法，本發明的多點測量用應變傳感器(31)具備基材膜(34)、形成于上述基材膜(34)的第一主面(34a)的多個應變感測部(33)、在上述基材膜(34)的第二主面(34b)上與各上述應變感測部(33)對應形成并在上述基材膜(34)的外緣附近具有外部連接端子部(37b、38b)的引繞線路(37、38)以及填充于導通孔(39、40)內來連接各上述應變感測部(33)以及與其對應的上述引繞線路(37、38)的導電糊(41、42)。

技術領域

本發明涉及一種多點測量用應變傳感器及其制造方法。

背景技術

就高度發展時期配備的社會公共設施的老化問題通過引入適當的管理維護方法以實現延長使用壽命、維護管理和更新的總成本的削減和平均化已經成為一個需要解決的問題。充分利用傳感器、IT等技術使有效掌控社會公共設施狀態成為可能的監控技術的開發推進備受期待。

作為監控技術的測量方式有通過將傳感器和相機等設置在構造物(混凝土構造物、鋼構造物、土構造、地基、其他)上隨時監控的固定型和使用設置有傳感器和相機等的移動體(車輛等)定期監控的移動型，但現在的主流是固定型。作為固定型的代表性例子可以列舉如下：在混凝土構造物(隧道壁面、路面等)以及鋼構造物(橋梁等)上設置應變傳感器，監控應變量的經年變化。

作為應用于此類固定型監控技術的應變傳感器，如，專利文獻1中公開了一種多點測量移動體的行走用車輪接地的路面的應變的傳感器。該可多點測量的應變傳感器1，具體而言，通過在柔性基板2的背面貼合粘貼有多個電阻式應變儀3的應變儀底板4，并進一步在柔性基板2的表面上貼合片狀絕緣構件(覆蓋膜)5以構成傳感器構造部6(參考圖13、圖14)。在柔性基板2上設置有導通于各電阻式應變儀3的應變感測部13的兩端部的導線連接部(舌片)14a、14b中的導線連接部14a的薄膜狀導體(引繞線路)18和導通于導線連接部14b的薄膜狀導體(引繞線路)19、20。應變儀3位于路面中的車輪的接地區域上，傳感器6的應變儀底板4以使薄膜狀導體18、19、20的端部18b、19b、20b位于在車輪的寬度方向上偏離接地區域的區域中的方式設置在路面上。

此外，專利文獻1公開了多種實施方式，例如圖13、圖14所示的柔性基板2是由第一層基板7和第二層基板8構成的兩層構造。但是亦可以使用單層的柔性基板代替。另外，雖然在圖14中使用了具有應變儀底板12以及應變感測部13的多個應變儀3，并且將這些應變儀3粘貼在了應變儀底板4的表面，但是，與此不同，也可以在應變儀底板4的表面上通過光刻等直接形成多個應變感測部13。進一步，在圖13、圖14中，分別將應變儀引線15a、15b結線到各應變感測部13的兩端部的舌片14a、14b，并把舌片14a和薄膜狀導體18、以及舌片14b和薄膜狀導體19、20經由應變儀引線15a、15b導通；但是，與此不同，執行舌片14a和薄膜狀導體18的導通、以及舌片14b和薄膜狀導體19、20的導通也可以不使用應變儀引線15a、15b。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利申請公開第2009-79976號公報。

發明內容

發明所要解決的課題

但是，專利文獻1中記載的應變傳感器存在如下問題：具有多個應變感測部13的應變儀底板4和設置有對應各應變感測部13的薄膜狀導體(引繞線路)18、19、20的柔性基板2貼合時發生偏移，引起應變感測部13的兩端部的導線連接部14a、14b和柔性基板2的薄膜狀導體(引繞線路)18、19、20之間的導通不良。并且，因為層構成比較多，存在材料費以及制造成本格外高的問題。

因此，本發明的目的在于提供一種不會發生因貼合時偏移而導通不良、且可以降低材料費的多點測量用應變傳感器及其制造方法。

用于解決課題的方案