[發明專利]裝載端口

有效

• 申請號: 201680069222.6
• 申請日: 2016-11-29
• 公開（公告）號: CN108292621B
• 公開（公告）日: 2023-08-18
• 發明（設計）人: 森鼻俊光;大澤真弘;松本祐貴
• 申請（專利權）人: 昕芙旎雅有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

裝載端口(1)所具備的映射傳感器(30)是用于對收納于匣(51(52))的FFC(被處理物的一例子)進行映射的傳感器。映射傳感器(30)具有傳感器部(31)和用于使該傳感器部(31)升降的升降部(32)。映射傳感器(30)配置在裝載端口(1)的基座(10)的與輸送空間的那一側相反的一側。

技術領域

本發明涉及一種為了相對于輸送空間搬入搬出晶圓等被處理物而載置用于收納該被處理物的容器的裝載端口。

背景技術

上述的容器存在被稱作FOUP(Front-Opening?Unified?Pod)的具有可開閉的蓋的密閉型的容器、被稱作開放式匣的開放型的容器。在這些容器的內側設有多層的架板，晶圓等多個被處理物在上下方向上隔開恒定的間隔地以水平姿勢收納在該容器中。在此，一般來講，裝載端口具有映射功能這樣的功能。映射功能是檢測收納于容器內的晶圓等多個被處理物在各層的有無、傾斜等收納狀態的功能。

作為關于上述的映射功能的技術，例如有專利文獻1所述的技術。該以往技術如下地構成。在裝載端口的背面側(輸送室內)設置具有映射傳感器的可升降移動的映射裝置，使映射裝置與用于分隔輸送空間和外部的門(裝載端口的門)一同升降移動。映射裝置具有擺動框，通過使擺動框向開放式匣、FOUP這樣的容器側擺動，從而將映射傳感器插入到容器中。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2015－50410號公報

發明內容

發明要解決的問題

上述的以往技術存在以下的問題。由于構成專利文獻1所述的映射裝置的升降機構、擺動機構位于裝載端口的背面側(輸送室內)，因此自這些機構部分會產生微粒(微小的灰塵)。此外，由因映射裝置的升降、擺動而產生的氣流引起附著于門、輸送室的微粒在輸送室內飛揚。由于輸送室內必須維持清潔的環境(潔凈的環境)，因此輸送室內的微粒的產生、飛揚并不理想。此外，基于映射的結果，一旦發現錯誤，則必須再次將打開的門關閉。收納在映射中發現錯誤的被處理物的容器要進行更換，但與沒有門的關閉動作的情況相比，容器的更換會延遲與再次將打開的門關閉這樣的動作相應的量。

本發明即是鑒于上述實際情況而完成的，其目的在于提供一種這樣的裝載端口，該裝載端口具有能夠避免由映射動作引起在輸送空間內(輸送室內)產生微粒、而且不需要由映射動作引起的裝載端口的門的開閉的映射功能。

用于解決問題的方案

本發明的裝載端口包括：基座，其豎立配置，該基座構成用于劃分輸送空間的分隔壁的一部分，并具有用于相對于所述輸送空間搬入搬出被處理物的基座開口部；載置臺，其設于所述基座的與所述輸送空間的那一側相反的一側，該載置臺供收納多個所述被處理物的容器載置；以及門，其用于進行所述基座開口部的開閉。該裝載端口包括映射傳感器，該映射傳感器具有傳感器部和用于使該傳感器部升降的升降部，用于對收納于所述容器的所述被處理物進行映射，該映射傳感器配置在所述基座的與所述輸送空間的那一側相反的一側。

采用該結構，由于具有傳感器部和用于使該傳感器部升降的升降部的映射傳感器并不是配置在輸送空間中，而是配置在輸送空間之外，因此不會由映射動作引起在輸送空間內產生微粒。此外，由于裝載端口的門的開閉與映射動作分離，因此能夠不需要由映射動作引起的該門的開閉。

另外，采用上述結構，也能獲得以下的效果。不會由映射傳感器縮窄利用設置于輸送空間的被處理物輸送機器人輸送被處理物的輸送區域。