[發(fā)明專利]陶瓷-鋁接合體、絕緣電路基板、功率模塊、LED模塊、熱電模塊有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201680068683.1 | 申請日: | 2016-11-08 |
| 公開(公告)號: | CN108292632B | 公開(公告)日: | 2021-03-26 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 寺崎伸幸;長友義幸 | 申請(專利權(quán))人: | 三菱綜合材料株式會社 |
| 主分類號: | H01L23/13 | 分類號: | H01L23/13;C04B37/02;H01L23/12;H01L23/373;H01L23/40 |
| 代理公司: | 北京德琦知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11018 | 代理人: | 刁興利;康泉 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 陶瓷 接合 絕緣 路基 功率 模塊 led 熱電 | ||
1.一種陶瓷-鋁接合體,其為陶瓷部件與由鋁或鋁合金構(gòu)成的鋁部件接合而成的陶瓷-鋁接合體,該陶瓷-鋁接合體的特征在于,
所述陶瓷部件由包含鎂的氮化硅構(gòu)成,
在所述陶瓷部件與所述鋁部件的接合界面形成有在鋁、硅、氧及氮的化合物中包含鎂的接合層,
所述接合層包含3at%~8at%的鎂。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陶瓷-鋁接合體,其特征在于,
所述接合層的組成比例中,硅為10at%~18at%、氧為20at%~35at%、氮為25at%~40at%、鎂為3at%~8at%、剩余部分為鋁。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的陶瓷-鋁接合體,其特征在于,
在從所述陶瓷部件的表面向所述鋁部件側(cè)隔開10μm的位置,銅為1.2質(zhì)量%以下且鐵為0.6質(zhì)量%以下。
4.一種絕緣電路基板,其為陶瓷基板與由鋁或鋁合金構(gòu)成的鋁板接合而成的絕緣電路基板,該絕緣電路基板的特征在于,
所述陶瓷基板由包含鎂的氮化硅構(gòu)成,
在所述陶瓷基板與所述鋁板的接合界面形成在有鋁、硅、氧及氮的化合物中包含鎂的接合層,
所述接合層包含3at%~8at%的鎂。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的絕緣電路基板,其特征在于,
所述接合層的組成比例中,硅為10at%~18at%、氧為20at%~35at%、氮為25at%~40at%、鎂為3at%~8at%、剩余部分為鋁。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的絕緣電路基板,其特征在于,
在從所述陶瓷基板的表面向所述鋁板側(cè)隔開10μm的位置,銅為1.2質(zhì)量%以下且鐵為0.6質(zhì)量%以下。
7.一種功率模塊,其特征在于,具備權(quán)利要求4至6中任一項所述的絕緣電路基板及搭載于該絕緣電路基板的功率半導(dǎo)體元件。
8.一種LED模塊,其特征在于,具備權(quán)利要求4至6中任一項所述的絕緣電路基板及搭載于該絕緣電路基板的LED元件。
9.一種熱電模塊,其特征在于,具備權(quán)利要求4至6中任一項所述的絕緣電路基板及搭載于該絕緣電路基板的熱電元件。
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