[發明專利]具有基礎層及附著于其上的窗的拋光墊

有效

• 申請號: 201680066823.1
• 申請日: 2016-11-02
• 公開（公告）號: CN108349060B
• 公開（公告）日: 2021-01-05
• 發明（設計）人: P.A.勒費夫爾;W.C.阿利森;D.斯科特;J.阿爾諾
• 申請（專利權）人: 嘉柏微電子材料股份公司
• 主分類號: B24B37/20
• 分類號: B24B37/20;B24B37/22;B24B37/24;B24B37/26;C09K3/14;H01L21/321
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 孫梵

1.一種用于拋光基板的拋光墊，該拋光墊包含：

具有第一模量的基礎層；

附著于該基礎層上的拋光層，且其具有低于該第一模量的第二模量；

穿過該拋光層的第一開口及穿過該基礎層的第二開口，該第一開口暴露該第二開口的至少一部分且暴露該基礎層的一部分；以及

安置于該第一開口中且附著于該基礎層的暴露部分的窗，其中該窗具有延伸進入該第二開口的部分，且其中該窗利用搭扣配合配置附著于該基礎層的暴露部分。

2.如權利要求1的拋光墊，其中該第一開口暴露該整個第二開口。

3.如權利要求1的拋光墊，其中該窗利用選自由以下組成的群的粘接層附著于該基礎層的暴露部分：壓敏粘接劑(PSA)層、雙組分環氧樹脂層、UV固化樹脂層、基于有機硅的粘接層、轉移帶層、及熱熔性層。

4.如權利要求3的拋光墊，其中該粘接層為無差別雙面膠帶PSA層。

5.如權利要求3的拋光墊，其中該粘接層為第一雙面膠帶PSA層，且其中該拋光層利用第二雙面膠帶PSA層附著于該基礎層上，該第二雙面膠帶PSA層的厚度與使該窗附著于該基礎層的該第一雙面膠帶PSA層的厚度相同。

6.如權利要求3的拋光墊，其中該粘接層為有差別雙面膠帶PSA層。

7.如權利要求1的拋光墊，其中該窗利用焊接區域附著于該基礎層的暴露部分。

8.如權利要求7的拋光墊，其中該焊接區域為選自由點焊接區域、線焊接區域及多線焊接區域組成的群的區域。

9.如權利要求1的拋光墊，其進一步包含：

在與該拋光層相對的該基礎層一側附著于該基礎層上的下墊；以及

穿過該下墊的第三開口，該第三開口經設定大小且與該第二開口對準。

10.如權利要求1的拋光墊，其中由該拋光層的平面圖視角，該窗具有與該第一開口相同的形狀。

11.如權利要求10的拋光墊，其中該形狀選自由以下組成的群：圓形、橢圓形、正方形、矩形、及具有弧形角的矩形。

12.如權利要求10的拋光墊，其中該窗的周界的尺寸在該周界所有部分相對于該第一開口的周界減小在5至15密耳范圍內的量。

13.如權利要求1的拋光墊，其中相對于該基礎層，該窗具有低于該拋光層最上表面的最上表面。

14.如權利要求1的拋光墊，其中由該拋光層的平面圖視角，該第一開口具有與該第二開口相同的形狀，且其中該第二開口的周界的尺寸在該周界所有部分相對于該第一開口的周界減小在10至500密耳范圍內的量。

15.如權利要求14的拋光墊，其中該第二開口的周界的尺寸在該周界所有部分相對于該第一開口的周界減小在100至300密耳范圍內的量。

16.如權利要求1的拋光墊，其中該拋光層利用粘接層附著于該基礎層上。

17.如權利要求1的拋光墊，其中該拋光層藉由該拋光層至該基礎層的共價鍵結附著于該基礎層上。

18.如權利要求1的拋光墊，其中該窗包含選自由以下組成的群的材料：聚對苯二甲酸乙二酯材料、聚氨基甲酸酯材料、環烯烴共聚物材料、聚碳酸酯材料、聚酯材料、聚丙烯材料、及聚乙烯材料。

19.如權利要求1的拋光墊，其中該窗包含對在300至800納米范圍內的寬廣光譜照射透明的材料。