[發明專利]延長真空泵的壽命的運用方法

有效

• 申請號: 201680066363.2
• 申請日: 2016-11-16
• 公開（公告）號: CN108350908B
• 公開（公告）日: 2019-07-16
• 發明（設計）人: 上田實;小川敬弘
• 申請（專利權）人: 株式會社特克諾斯
• 主分類號: F04F5/20
• 分類號: F04F5/20;F04B37/16;F04D19/04
• 代理公司: 上海立群專利代理事務所(普通合伙) 31291
• 代理人: 楊楷;毛立群

提供將在真空泵等內部產生的副產物粉體引導并排出的流體引導單元等。流體引導單元(1)具備：筒體(10)，兩端開口并在其開口端部附設有凸緣；流體驅動引導體(20)，設置于筒體(10)內部；供氣管(30)，向流體驅動引導體(20)供給氮氣等的驅動氣體；第1流路(41)，從供氣管(30)經由流體驅動引導體(20)的內壁而與筒體(10)的下游側開口部(12)連通；第2流路(42)，從筒體(10)的上游側開口部(11)經由流體驅動引導體(20)而與筒體(10)的下游側開口部(12)連通。第2流路(42)的最窄部位的內徑為11毫米。

技術領域

本申請發明涉及一種延長使用了流體引導單元的真空泵的壽命的運用方法,所述流體引導單元將在真空泵的內部或其排氣側管道的內部(以下稱為“真空泵等的內部”)產生的副產物引導并排出。

背景技術

一直以來,存在對真空泵的排氣側進行抽吸的裝置。其中之一的裝置利用與真空泵的排氣側連通連接的第1(上游側)筒體以及第2(下游側)筒體、介于所述第1筒體與第2筒體之間的止回閥以及噴射器來抽吸真空泵的排氣側(專利文獻1)。

現有技術文獻

專利文獻1：日本特愿2015-096113

發明內容

發明要解決的技術問題

然而,已知若在真空泵等的內部產生的副產物粉體在真空泵等的內部滯留，則會附著并堆積于該真空泵與排氣側管道的連接部位或該排氣側管道的內周面，導致從該真空泵向下游方向的流路變小(變細)，所述現象也成為引起流路堵塞或真空泵的故障乃至縮短真空泵的壽命的主要原因。

因此，每隔一定期間，必須要進行分解并清掃真空泵或者排氣側管道這樣的保養作業，從而需要相當的成本或時間。

所述專利文獻1是抽吸真空泵的排氣側的優異的裝置,但噴射器的噴嘴直徑較細(在工作例中為1毫米)，因此在從真空泵等的內部排出的氣體中混有副產物粉體的環境下,存在副產物粉體在噴射器的噴嘴的內部堵塞的可能性，因此只能應用于在真空泵等的內部不產生副產物那樣的干凈的環境中。

因此,技術問題在于提供一種即使在從CVD、干式蝕刻機等真空泵等的內部排出的氣體中，可能會飛來而混合有1毫米以上的副產物粉體的環境下也能夠應用的流體引導單元。

此外,技術問題在于提供一種在從真空泵等的內部排出的氣體中，可能會飛來而混合有1毫米以上的副產物粉體的環境下延長真空泵的壽命的運用方法。

本申請發明為了解決上述技術問題，提供一種流體引導單元,具備：筒體，兩端開口；流體驅動引導體，設置于所述筒體的內部；供氣管,貫通所述筒體并與所述流體驅動引導體連通；第1流路，從所述供氣管經由所述流體驅動引導體的內壁而與所述筒體的下游側開口部連通；第2流路，從所述筒體的上游側開口部經由所述流體驅動引導體而與所述筒體的下游側開口部連通，其最窄部為11毫米以上，在向所述第1流路供給驅動氣體時使驅動氣體沿著所述流體驅動引導體的內壁流動,在所述第1流路的驅動氣體排出時使得流體被引導至所述第2流路。

此外，本申請發明為了解決上述技術問題，提供一種流體引導單元,具備：筒體，兩端開口并且至少在上游側開口端部附設有凸緣；流體驅動引導體，設置于所述筒體的內部；供氣管,貫通所述筒體并與所述流體驅動引導體連通；第1流路，從所述供氣管經由所述流體驅動引導體的內壁而與所述筒體的下游側開口部連通；第2流路，從所述筒體的上游側開口部經由所述流體驅動引導體而與所述筒體的下游側開口部連通，其最窄部為11毫米以上，在向所述第1流路供給驅動氣體時使驅動氣體沿著所述流體驅動引導體的內壁流動,在所述第1流路的驅動氣體排出時使得流體被引導至所述第2流路。