[發明專利]延長真空泵的壽命的運用方法有效
| 申請號： | 201680066363.2 | 申請日： | 2016-11-16 |
| 公開（公告）號： | CN108350908B | 公開（公告）日： | 2019-07-16 |
| 發明（設計）人： | 上田實;小川敬弘 | 申請（專利權）人： | 株式會社特克諾斯 |
| 主分類號： | F04F5/20 | 分類號： | F04F5/20;F04B37/16;F04D19/04 |
| 代理公司： | 上海立群專利代理事務所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 楊楷;毛立群 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 筒體 流體驅動 引導體 側開口部 流路 流體引導 供氣管 真空泵 連通 氮氣 開口端部 兩端開口 驅動氣體 副產物 粉體 內壁 凸緣 上游 | ||
【權利要求書】：
1.一種延長真空泵的壽命的運用方法，將流體引導單元連接至真空泵的排氣側，
所述流體引導單元具備：
筒體，兩端開口；
流體驅動引導體，設置于所述筒體的內部；
供氣管,貫通所述筒體并與所述流體驅動引導體連通；
第1流路，從所述供氣管經由所述流體驅動引導體的內壁而與所述筒體的下游側開口部連通；
第2流路，從所述筒體的上游側開口部經由所述流體驅動引導體而與所述筒體的下游側開口部連通，其最窄部為11毫米以上，
在向所述第1流路供給驅動氣體時使驅動氣體沿著所述流體驅動引導體的內壁流動,
在所述第1流路的驅動氣體排出時使得流體被引導至所述第2流路，
通過以下工序將在真空泵及其排氣側管道的內部產生的副產物粉體引導并排出：
第1工序，以20升/分以上的流量向所述供氣管供給所述驅動氣體；
第2工序，通過所述第1工序而供給的所述驅動氣體沿著所述流體驅動引導體的內壁從所述流體驅動引導體內向所述筒體的下游側開口部流動；
第3工序，通過所述第2工序的流動將流體從該真空泵向所述筒體的上游側引導；
第4工序，將在所述第3工序中引導來的流體向所述筒體的下游側開口部排出。
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