[發(fā)明專利]測量用于基片的氣氛輸送和存儲的運輸箱的污染物的方法和系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201680063515.3
• 申請日: 2016-08-29
• 公開（公告）號: CN108352345B
• 公開（公告）日: 2022-01-25
• 發(fā)明（設計）人: O·勒-巴里耶;J·布努阿爾
• 申請（專利權(quán)）人: 普發(fā)真空公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/673
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 吳鵬;馬江立

1.一種測量用于基片(3)的氣氛輸送和存儲的運輸箱(2)的污染物的方法，其中通過測量裝置測量運輸箱(2)內(nèi)的至少一種氣態(tài)物質(zhì)的濃度，所述測量裝置包括至少一個氣體分析儀(5，5b)和將所述至少一個氣體分析儀(5，5b)連接到接口(7)的測量管線(6)，所述接口(7)使測量管線(6)與至少一個運輸箱(2)的內(nèi)部氣氛連通，其特征在于，在每次氣態(tài)物質(zhì)測量之后，將含水蒸氣的氣流供給到所述測量裝置，其中，如果氣態(tài)物質(zhì)的濃度低于預定閾值，則供給具有第一濕度的氣流，如果氣態(tài)物質(zhì)的濃度超過預定閾值，則供給具有大于所述第一濕度的第二濕度的氣流。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量用于基片(3)的氣氛輸送和存儲的運輸箱(2)的污染物的方法，其中，被測量濃度的至少一種氣態(tài)物質(zhì)是氫氟酸(HF)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的測量用于基片(3)的氣氛輸送和存儲的運輸箱(2)的污染物的方法，其中，含水蒸氣的氣流具有大于40％的濕度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的測量用于基片(3)的氣氛輸送和存儲的運輸箱(2)的污染物的方法，其中，含水蒸氣的氣流具有大于95％的濕度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的測量用于基片(3)的氣氛輸送和存儲的運輸箱(2)的污染物的方法，其中，含水蒸氣的氣流是濕空氣。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的測量用于基片(3)的氣氛輸送和存儲的運輸箱(2)的污染物的方法，其中，在執(zhí)行污染物測量的同時向所述測量裝置供給含水蒸氣的氣流。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的測量用于基片(3)的氣氛輸送和存儲的運輸箱(2)的污染物的方法，其中，在進行了污染物測量與隔離所述接口(7)之后，將含水蒸氣的氣流供給到所述測量裝置。

8.一種測量用于基片的氣氛輸送和存儲的運輸箱的污染物的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括：

-測量裝置，該測量裝置包括至少一個氣體分析儀(5，5b)和與所述至少一個氣體分析儀(5，5b)連接的測量管線(6)，以及

-接口(7)，所述接口(7)用于使所述測量管線(6)與至少一個運輸箱(2)的內(nèi)部氣氛連通，以便通過所述至少一個氣體分析儀(5，5b)對包含在運輸箱(2)的內(nèi)部氣氛中的至少一種氣態(tài)物質(zhì)進行分析，

其特征在于，所述系統(tǒng)包括濕度發(fā)生器(9)，所述濕度發(fā)生器(9)配置為在每次氣態(tài)物質(zhì)測量之后，向所述測量裝置供給含水蒸氣的氣流，其中，如果氣態(tài)物質(zhì)的濃度低于預定閾值，則供給具有第一濕度的氣流，如果氣態(tài)物質(zhì)的濃度超過預定閾值，則供給具有大于所述第一濕度的第二濕度的氣流。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的測量用于基片的氣氛輸送和存儲的運輸箱的污染物的系統(tǒng)，其特征在于，所述濕度發(fā)生器(9)聯(lián)接到測量管線(6)，所述測量管線(6)將所述至少一個氣體分析儀(5，5b)連接到所述接口(7)，所述測量系統(tǒng)包括布置在所述測量管線(6)上的至少一個閥(8；8a，8b，8c)，所述閥(8；8a，8b，8c)被配置為使所述接口(7)與至少一個氣體分析儀(5，5b)連通或使所述至少一個氣體分析儀(5，5b)與所述濕度發(fā)生器(9)連通。

10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的測量用于基片的氣氛輸送和存儲的運輸箱的污染物的系統(tǒng)，其特征在于，所述至少一個氣體分析儀(5，5b)包括采樣泵。

11.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的測量用于基片的氣氛輸送和存儲的運輸箱的污染物的系統(tǒng)，其特征在于，所述至少一個氣體分析儀(5，5b)包括通過吸收光譜操作的光學傳感器。