[發明專利]輸送系統

有效

• 申請號: 201680062800.3
• 申請日: 2016-10-13
• 公開（公告）號: CN108349650B
• 公開（公告）日: 2019-12-20
• 發明（設計）人: 本田修;山田啟二;小野大輔;野沢高志
• 申請（專利權）人: 村田機械株式會社
• 主分類號: B65G1/00
• 分類號: B65G1/00;H01L21/677
• 代理公司: 11227 北京集佳知識產權代理有限公司
• 代理人: 舒艷君;田軍鋒

本發明提供一種輸送系統。該輸送系統具備軌道、多臺高架輸送車、保管裝置以及根據運用模式控制高架輸送車和本地臺車的動作的輸送控制器。保管裝置具有保管部和能夠在裝置端口和保管部之間移載FOUP的本地臺車。輸送控制器能夠在禁止本地臺車從裝置端口向保管部移載的移載動作的第一模式、禁止高架輸送車向保管部移載的移載動作和本地臺車從保管部向裝置端口移載的移載動作的第二模式以及不限制本地臺車的移載動作的第三模式之間切換運用模式。

技術領域

本發明涉及輸送系統。

背景技術

例如作為用于半導體制造工廠的輸送系統，已知有具備高架輸送車、作為高架輸送車的行走路徑的軌道、設置于軌道與半導體處理裝置的裝置端口之間的保管部(緩沖裝置)以及在裝置端口和保管部之間交接被輸送物的移載機構(本地臺車)的輸送系統(參見專利文獻1)。

在上述專利文獻1中記載的輸送系統中，高架輸送車和移載機構都構成為在與裝置端口和保管部這兩者之間實施對被輸送物的交接。

專利文獻1：日本特開2013-153193號公報

針對如上所述的輸送系統有提高半導體處理裝置的設備利用率的要求。另外，在如上述輸送系統那樣利用高架輸送車和移載機構這兩者的系統中，通過根據輸送系統的狀況恰當地運用兩者，有可能提高半導體處理裝置的設備利用率。

發明內容

因此，本發明的一個方式的目的在于，提供能夠根據輸送系統的狀況提高裝置的設備利用率的輸送系統。

本發明的一個方式的輸送系統具備：軌道；多臺輸送車，多臺輸送車沿軌道行走，輸送被輸送物；保管裝置，其具有：保管部，保管部能夠供輸送車交接被輸送物；和移載機構，移載機構能夠在與能供輸送車交接被輸送物的裝置端口和保管部之間移載被輸送物；以及控制器，其根據所設定的運用模式，控制輸送車和移載機構的動作，控制器能夠如下的模式之間切換運用模式，即，在禁止由移載機構從裝置端口向保管部移載被輸送物的移載動作的第一模式，禁止由輸送車向保管部移載被輸送物的移載動作和由移載機構從保管部向裝置端口移載被輸送物的移載動作的第二模式，以及允許由移載機構從裝置端口向保管部移載被輸送物的移載動作和從保管部向裝置端口移載被輸送物的移載動作這兩者的第三模式。

在上述輸送系統中，就運用模式而言，控制器能夠在限制能夠由移載機構實施的移載動作(即，從裝置端口向保管部移載的移載動作和從保管部向裝置端口移載的移載動作)中的一者的第一模式和第二模式以及不限制移載機構的移載動作的第三模式之間，切換運用模式。通過將運用模式設定為第一模式，能夠優先向裝置端口供給被輸送物。通過將運用模式設定為第二模式，能夠優先從裝置端口回收被輸送物(向保管部退避)。通過將運用模式設定為第三模式，能夠均衡地執行對被輸送物的供給和回收。因此，采用上述輸送系統，通過根據輸送系統的狀況切換控制器的運用模式，能夠恰當地切換對被輸送物的供給和回收的優先度，能夠提高裝置的設備利用率。

在上述輸送系統中，也可以是，保管部包括在輸送車的行走方向上設置得比裝置端口靠上游側的第一保管部和在輸送車的行走方向上設置得比裝置端口靠下游側的第二保管部，控制器禁止由輸送車向第二保管部移載被輸送物的移載動作并且禁止由移載機構從裝置端口向第一保管部移載被輸送物的移載動作。由此，在第一模式～第三模式中的任一模式下，都能夠實現從輸送車的行走方向上的上游側向下游側單向地輸送被輸送物的結構。其結果是，能夠在各模式中的可能的移載動作的范圍內，由1臺輸送車向上游側的端口(第一保管部或者裝置端口)供給被輸送物，對在下游側的端口(裝置端口或者第二保管部)載置的處理完畢的被輸送物進行回收。因此，采用上述輸送系統，也能夠實現輸送車的運用效率的提高。

在上述輸送系統中，也可以是，控制器能夠針對每個保管裝置切換運用模式。由此，能夠根據每個保管裝置的狀況，以保管裝置為單位恰當地切換運用模式。