[發明專利]包括其中每個生成一條線、各條線在寬度方向上偏移的情況下重疊的多個激光模塊的激光裝置

在審

• 申請號: 201680062429.0
• 申請日: 2016-08-23
• 公開（公告）號: CN108136542A
• 公開（公告）日: 2018-06-08
• 發明（設計）人: B.迪博;E.米蒙;L.卡諾瓦;N.德斯博弗
• 申請（專利權）人: 法國圣戈班玻璃廠
• 主分類號: B23K26/06
• 分類號: B23K26/06;B23K26/067;B23K26/073;B23K26/08;G02B27/09;H01L21/02;H01S5/40;B23K26/352
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 胡莉莉;申屠偉進

本發明涉及在沒有特別的限制的情況下由多個可并置的激光模塊形成的用于對沉積在大寬度的基底上的涂層進行退火的激光裝置，其中激光模塊生成基本激光線（LA1，LA2），基本激光線（LA1，LA2）在長度方向上相互進行組合以用于形成單條激光線，每一基本線（LA1，LA2）呈現在長度方向上的與一條或兩條相鄰的基本激光線（LA2，LA1）的重疊（R）；并且至少兩條相鄰的基本激光線（LA1，LA2）呈現相對于彼此的在寬度方向上的偏移（D），所述偏移（D）小于所述至少兩條相鄰的基本激光線（LA1，LA2）的寬度之和的一半；所述至少兩條相鄰的基本激光線（LA1，LA2）的重疊（R）使得在沒有偏移（D）的情況下，單條激光線的單位長度功率分布在重疊區域（R）處呈現局部最大值。

技術領域

本發明涉及用于對沉積在具有大寬度的基底上的涂層進行退火的激光裝置，該激光裝置在沒有特別的限制的情況下由多個可并置的激光模塊形成。

背景技術

已知的是，執行對沉積在平的基底上的涂層的執行局部和快速的激光退火（激光閃速加熱（laser flash heating））。為此，使具有要退火的涂層的基底在激光線下行進，或者使激光線在帶有涂層的基底的上方行進。

激光退火允許以數百度量級的高溫度對薄涂層進行加熱，同時保護下面的基底。行進的速度當然是優選盡可能地高的，有利地至少有數米每分鐘。

為了能夠以大的速度處理大寬度的基底（諸如出自漂浮（float）方法的“巨型（jumbo）”尺寸（6m × 3.21m）的平的玻璃的片材），必要的是擁有其本身非常長（>3m）的激光線。然而，對于這樣的長度而言，允許獲得單條激光線的單片光學器件的制備是不可實現的。因此已經考慮了模塊化的激光裝置，其中提出將具有較小尺寸（幾十厘米）的基本激光線組合，每條基本激光線由獨立的激光模塊生成。

用于將基本激光線組合的第一解決方案在于在基本激光線之間不存在重疊區域的情況下將基本激光線布置在不同的線上（例如呈交錯排列或者呈“V字隊形（vol d'oiseau）”），以便對基底的整個寬度進行處理。因此，在基底的寬度上的每個點在基本激光線下通過至少一次。尤其是因為該解決方案針對激光模塊強加很少的體積約束，所以該解決方案實施起來相對簡單。然而，該解決方案是不均勻性的來源。實際上，基底的某些點在兩條基本激光線下相繼地通過時有可能在不同功率的情況下經受兩次處理。這一般表現為在所處理的基底上的缺陷。