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[發(fā)明專利]包括其中每個生成一條線、各條線在寬度方向上偏移的情況下重疊的多個激光模塊的激光裝置在審

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201680062429.0 申請日: 2016-08-23
公開(公告)號: CN108136542A 公開(公告)日: 2018-06-08
發(fā)明(設計)人: B.迪博;E.米蒙;L.卡諾瓦;N.德斯博弗 申請(專利權)人: 法國圣戈班玻璃廠
主分類號: B23K26/06 分類號: B23K26/06;B23K26/067;B23K26/073;B23K26/08;G02B27/09;H01L21/02;H01S5/40;B23K26/352
代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 胡莉莉;申屠偉進
地址: 法國*** 國省代碼: 法國;FR
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 激光線 偏移 激光模塊 激光裝置 單條 單位長度功率 退火 重疊區(qū)域 并置 基底 沉積
【權利要求書】:

1.一種激光裝置,包括:

多個激光模塊,每個激光模塊生成聚焦在工作平面處的具有長度(L)和寬度(W)的基本激光線;和

用于容納基底的傳送部件;

其中所述激光模塊被定位以使得所生成的基本激光線相互間幾乎平行并且組合成單條激光線,每一基本線呈現(xiàn)在長度方向上的與相鄰的基本激光線的重疊(R);并且

傳送部件允許基底垂直于單條激光線行進;

其特征在于,對于至少兩條相鄰的基本激光線(LA1,LA2)而言,基本激光線呈現(xiàn)在寬度方向上相對于彼此的偏移(D),所述偏移小于所述兩條相鄰的基本激光線的寬度之和的一半;所述至少兩條相鄰的基本激光線(LA1,LA2)的重疊(R)使得在沒有偏移的情況下,單條激光線的單位長度功率分布在重疊區(qū)域處呈現(xiàn)局部最大值。

2.根據權利要求1所述的裝置,其特征在于單條激光線的單位長度功率分布的所述局部最大值相對于所述至少兩條相鄰的基本激光線(LA1,LA2)中的每個在重疊區(qū)域外的平均單位長度功率具有大于20%的值,優(yōu)選地大于10%的值。

3.根據權利要求1或2所述的裝置,其特征在于所述偏移(D)被選取以使得單條激光線在重疊處的品質因數F相對于所述至少兩條相鄰的基本激光線(LA1,LA2)中的每個在重疊區(qū)域外的平均品質因數呈現(xiàn)小于20%的變化,優(yōu)選地小于15%的變化、更優(yōu)選地小于10%的變化,進一步更優(yōu)選地小于5%的變化;

在激光線的給定點處的品質因數F由如下定義:

其中wP分別為激光線在該給定點的寬度和局部單位長度功率。

4.根據權利要求1至3中的任何一項所述的裝置,其特征在于所述偏移(D)大于所述至少兩條相鄰的基本激光線(LA1,LA2)中的每個的寬度的10%。

5.根據權利要求1至4中的任何一項所述的裝置,其特征在于基本激光線的單位長度功率分布呈現(xiàn)中央平臺(p)和兩個側向的側部(f),中央平臺(p)具有幾乎恒定的單位長度功率,并且每個側向的側部(f)具有單位長度功率的梯度。

6.根據權利要求5所述的裝置,其特征在于在兩條相鄰的基本激光線(LA1,LA2)之間的重疊(R)至少等于所述兩條相鄰的基本激光線(LA1,LA2)在重疊區(qū)域處的側向的側部(f)中的最短的側向的側部的長度。

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