[發明專利]制備柱狀間隔物的方法

在審

• 申請號: 201680061943.2
• 申請日: 2016-09-28
• 公開（公告）號: CN108351560A
• 公開（公告）日: 2018-07-31
• 發明（設計）人: 金蓮玉;樸錫鳳;崔慶植;李秀敏
• 申請（專利權）人: 羅門哈斯電子材料韓國有限公司
• 主分類號: G02F1/1339
• 分類號: G02F1/1339;G02F1/13
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 陳哲鋒;胡嘉倩

本發明涉及一種制備柱狀間隔物的方法，并且其特征在于使用包括具有不同透光率的第一、第二和第三圖案的掩模。另外，根據本發明的用于制備柱狀間隔物的方法，在制造基質部分和間隔物部分連續連接的柱狀間隔物期間，所述基質部分與所述間隔物部分之間的錐角可以增加，并且所述間隔物部分的臨界尺寸會減小。因此，可以簡單且高效地制造具有精細圖案的柱狀間隔物。

技術領域

本發明涉及一種用于制備柱狀間隔物的方法，在制造包括連續連接的基質部分和間隔物部分的柱狀間隔物時，通過增加基質部分和間隔物部分之間的錐角和通過減少間隔物的臨界尺寸可以容易地獲得精細圖案。

背景技術

近來，為了始終保持上下透明襯底之間的間隙，在液晶顯示器(LCD)的液晶單元中采用使用感光性樹脂組合物形成的間隔物。LCD是通過向注入兩個透明襯底之間的恒定間隙中的液晶材料施加電壓而驅動的電光裝置，其中非常關鍵的是恒定地維持兩個襯底之間的間隙。如果透明襯底之間的間隙不恒定，則施加到間隙不恒定的部分的電壓和穿過所述部分的光的透射率可能變化，導致空間不均勻亮度的缺陷。根據最近對大尺寸LCD面板的需求，甚至更關鍵的是恒定地維持兩個透明襯底之間的間隙。

近來，引入使用具有全色調圖案和半色調圖案的掩模的方法來形成具有高度差的柱狀間隔物(日本特開2009-58607)。然而，根據日本特開2009-58607，對應于掩模的全色調圖案與半色調圖案之間的邊界形成的固化膜的圖案輪廓在后烘烤后不會明顯變得明確，并且難以實現精細的圖案。

此外，還進行了使用遮光材料用于柱狀間隔物的努力，并且著色感光性樹脂組合物的開發正在積極進行。已經嘗試通過使用感光性樹脂組合物將柱狀間隔物和黑色基質整合成一個模塊而形成的黑色柱狀間隔物(遮光間隔物)來簡化制造工藝。然而，在使用著色感光性樹脂組合物制造具有高度差的柱狀間隔物(其中柱狀間隔物與黑色基質整合成一個模塊的黑色柱狀間隔物)的情況下，其間具有高度差的階梯部分的邊界處的錐角因遮光材料導致的光屏蔽效應可能變得緩和，從而導致間隔物部分的臨界尺寸增加。

發明內容

技術問題

因此，本發明的目的是提供一種制備柱狀間隔物的方法，通過所述方法，在形成包括連續連接的基質部分與間隔物部分的柱狀間隔物時，基質部分與間隔物部分之間的邊界是明確的并且易于獲得精細圖案。

問題的解決方案

根據本發明的一個方面，提供了一種制備柱狀間隔物的方法，其中基質部分和從所述基質部分突出的間隔物部分一體成型，包含使用具有圖案的掩模用光照射感光性樹脂組合物的涂膜，然后進行顯影，

其中所述掩模包含(1)用于形成所述間隔物部分的第一圖案；(2)用于形成所述基質部分的第二圖案，其中所述第二圖案與所述第一圖案相鄰定位并且具有比所述第一圖案低的透光率；(3)位于所述第一圖案與所述第二圖案之間的邊界處的第三圖案，其中所述第三圖案具有比所述第二圖案低的透光率，以及

通過所述掩模的所述第三圖案在所述柱狀間隔物的所述基質部分與所述間隔物部分之間的所述邊界處形成從所述基質部分凹入的谷。

此外，提供了一種用于柱狀間隔物的掩模，包含(1)第一圖案；(2)第二圖案，所述第二圖案與所述第一圖案相鄰定位并且具有比所述第一圖案低的透光率；(3)位于所述第一圖案與所述第二圖案之間的邊界處并具有比所述第二圖案低的透光率的第三圖案。

發明的有益效果

根據制備本發明的柱狀間隔物的方法，在制備其中基質部分和間隔物部分連續地連接的柱狀間隔物時，基質部分與間隔物部分之間的錐角可以增加，并且間隔物部分的臨界尺寸可以減小，因此可以簡單且高效地制造具有精細圖案的柱狀間隔物。

附圖說明

圖1和圖2分別示出了用于本發明的制備方法中使用的柱狀間隔物的掩模的圖案形狀。