[發明專利]制備柱狀間隔物的方法

在審

• 申請號: 201680061943.2
• 申請日: 2016-09-28
• 公開（公告）號: CN108351560A
• 公開（公告）日: 2018-07-31
• 發明（設計）人: 金蓮玉;樸錫鳳;崔慶植;李秀敏
• 申請（專利權）人: 羅門哈斯電子材料韓國有限公司
• 主分類號: G02F1/1339
• 分類號: G02F1/1339;G02F1/13
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 陳哲鋒;胡嘉倩

1.一種制備柱狀間隔物的方法，其中基質部分和從所述基質部分突出的間隔物部分一體成型，所述方法包含使用具有圖案的掩模用光照射感光性樹脂組合物的涂膜，然后進行顯影，

其中所述掩模包含(1)用于形成所述間隔物部分的第一圖案；(2)用于形成所述基質部分的第二圖案，所述第二圖案與所述第一圖案相鄰定位并且具有比所述第一圖案低的透光率；(3)位于所述第一圖案與所述第二圖案之間的邊界處的第三圖案，所述第三圖案具有比所述第二圖案低的透光率，以及

所述掩模的所述第三圖案在所述柱狀間隔物的所述基質部分與所述間隔物部分之間的邊界處形成從所述基質部分凹入的谷。

2.根據權利要求1所述的方法，其中所述第三圖案的寬度是所述第一圖案的寬度的14％到60％，并且所述第二圖案的透光率是所述第一圖案的透光率的15％到25％，并且所述第三圖案的透光率是所述第二圖案的透光率的0％到25％。

3.根據權利要求1所述的方法，其中，在所述掩模的整個區域中，所述第一圖案形成至少一個封閉區域，所述第三圖案形成圍繞所述第一圖案的所述封閉區域的邊界區域，并且所述第二圖案形成除了所述第一圖案和所述第三圖案之外的其余區域。

4.根據權利要求1所述的方法，其中所述感光性樹脂組合物包含(a)共聚物；(b)可聚合化合物；(c)光聚合引發劑；和(d)著色劑。

5.根據權利要求4所述的方法，其中所述感光性樹脂組合物還包含環氧樹脂化合物或由其衍生的化合物。

6.根據權利要求5所述的方法，其中所述環氧樹脂化合物具有卡哆主鏈結構。

7.根據權利要求4所述的方法，其中以所述感光性樹脂組合物的固體含量的總重量計，所述感光性樹脂組合物包含0重量％到20重量％的黑色無機著色劑、10重量％到40重量％的黑色有機著色劑和0重量％到15重量％的藍色著色劑作為著色劑。

8.一種用于柱狀間隔物的掩模，所述掩模包含：

(a)第一圖案；

(b)第二圖案，所述第二圖案與所述第一圖案相鄰定位并且具有比所述第一圖案更低的透光率；和

(c)第三圖案，所述第三圖案在所述第一圖案與所述第二圖案之間的邊界處定位并具有比所述第二圖案更低的透光率。

9.根據權利要求8所述的掩模，其中所述第三圖案的寬度是所述第一圖案的寬度的14％到60％，并且所述第二圖案的透光率是所述第一圖案的透光率的15％到25％，并且所述第三圖案的透光率是所述第二圖案的透光率的0％到25％。

10.根據權利要求8所述的掩模，其中，在所述掩模的整個區域中，所述第一圖案形成至少一個封閉區域，所述第三圖案形成圍繞所述第一圖案的所述封閉區域的邊界區域，并且所述第二圖案形成除了所述第一圖案和所述第三圖案之外的其余區域。