[發明專利]研磨用組合物

有效

• 申請號: 201680061350.6
• 申請日: 2016-10-21
• 公開（公告）號: CN108138032B
• 公開（公告）日: 2021-02-12
• 發明（設計）人: 杉田規章;松田修平;松下隆幸;知念美佳
• 申請（專利權）人: 霓達杜邦股份有限公司
• 主分類號: C09K3/14
• 分類號: C09K3/14;B24B37/00;H01L21/304
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 張毅群

1.一種研磨用組合物，其包含：

磨粒、

選自具有下述式(1)所表示的1，2-二醇結構單元的乙烯醇系樹脂中的至少一種水溶性高分子、

多元醇、

堿化合物、以及

非離子性表面活性劑，

所述多元醇包含聚氧亞乙基甲基葡糖苷和聚氧亞丙基甲基葡糖苷，

所述水溶性高分子的含量以相對于磨粒1重量份的比例計，為0.001重量份～0.1重量份，

所述堿化合物的含量以相對于磨粒1重量份的比例計，為0.0001重量份～0.1重量份，

所述多元醇的含量以相對于磨粒1重量份的比例計，為0.00001重量份～0.03重量份，

式中，R¹、R²和R³分別獨立地表示氫原子或有機基團，X表示單鍵或鍵鏈，R⁴、R⁵和R⁶分別獨立地表示氫原子或有機基團，R⁷和R⁸分別獨立地表示氫原子，

所述非離子性表面活性劑是下述通式(2)所表示的二胺化合物，該二胺化合物包含具有2個氮的亞烷基二胺結構，且在該亞烷基二胺結構的2個氮上鍵合有至少1個嵌段型聚醚，并且該嵌段型聚醚是氧亞乙基與氧亞丙基鍵合而成，

式中，n表示1以上的整數。

2.根據權利要求1所述的研磨用組合物，其中，

所述多元醇的含量以相對于研磨組合物整體的重量％計，為0.0001重量％～0.3重量％。