[發明專利]氣泡噴出頭、局部消融裝置及局部消融方法、注射裝置及注射方法

在審

• 申請號: 201680061014.1
• 申請日: 2016-10-17
• 公開（公告）號: CN108350406A
• 公開（公告）日: 2018-07-31
• 發明（設計）人: 山西陽子;神林卓也;高橋和基
• 申請（專利權）人: 株式會社BEX
• 主分類號: C12M1/00
• 分類號: C12M1/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 劉文海

1.一種氣泡噴出頭，其中，

所述氣泡噴出頭至少包括基板、通電部及氣泡噴出部，

所述通電部形成于所述基板上，

所述氣泡噴出部包括：電極，其由導電材料形成；輪廓部，其由絕緣性的感光性樹脂形成；以及延伸部，其從輪廓部延伸，

所述輪廓部覆蓋所述電極的周圍，且所述延伸部與所述電極的前端相比進一步延伸，而且，所述氣泡噴出部包括在所述延伸部與所述電極的前端之間形成的空隙，

所述氣泡噴出部的電極形成于所述通電部上。

2.根據權利要求1所述的氣泡噴出頭，其中，

所述氣泡噴出部形成有兩個以上。

3.根據權利要求2所述的氣泡噴出頭，其中，

所述氣泡噴出部的高度不同。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的氣泡噴出頭，其中，

所述感光性樹脂是負性光致抗蝕劑。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的氣泡噴出頭，其中，

與所述氣泡噴出部的電極構成電極對的對置電極形成于所述基板上。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的氣泡噴出頭，其中，

所述氣泡噴出頭還包括形成于所述氣泡噴出部的周圍的外側輪廓部，在所述氣泡噴出部與所述外側輪廓部之間的空間能夠儲存含有注射物質的溶液。

7.根據權利要求6所述的氣泡噴出頭，其中，

所述氣泡噴出頭形成有流路，該流路用于將含有注射物質的溶液和/或用于形成輔助流的溶液向所述空間輸送。

8.一種局部消融裝置，其中，

所述局部消融裝置包括權利要求1至7中任一項所述的氣泡噴出頭。

9.一種注射裝置，其中，

所述注射裝置包括權利要求1至7中任一項所述的氣泡噴出頭。

10.一種局部消融方法，其中，

利用溶液充滿權利要求8所述的局部消融裝置的氣泡噴出頭的至少空隙，

向由所述局部消融裝置的電極和對置電極構成的電極對施加高頻脈沖，由此從氣泡噴出部的前端放出氣泡，

利用該氣泡對加工對象物進行加工。

11.根據權利要求10所述的局部消融方法，其中，

在施加所述高頻脈沖時，從所述電極放電。

12.一種注射方法，其中，

利用含有注射物質的溶液充滿權利要求9所述的注射裝置的氣泡噴出頭的至少空隙，

向由所述注射裝置的電極和對置電極構成的電極對施加高頻脈沖，由此放出吸附有含有所述注射物質的溶液的氣泡，

一邊利用該氣泡對加工對象物進行局部消融，一邊向加工對象物導入注射物質。

13.根據權利要求12所述的注射方法，其中，

在施加所述高頻脈沖時，從所述電極放電。