[發明專利]加熱器控制裝置、加熱器控制方法、基板處理裝置及基板處理方法

在審

• 申請號: 201680058002.3
• 申請日: 2016-09-30
• 公開（公告）號: CN108141913A
• 公開（公告）日: 2018-06-08
• 發明（設計）人: 木名瀨淳;松島大輔
• 申請（專利權）人: 芝浦機械電子株式會社
• 主分類號: H05B3/00
• 分類號: H05B3/00;H01L21/027;G05D23/22
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 任玉敏

1.一種加熱器控制裝置，具有將被加熱體加熱的加熱器和檢測上述被加熱體的溫度的溫度檢測器，基于從該溫度檢測器輸出的溫度信息值控制上述加熱器，以使上述被加熱體的溫度成為目標溫度值，其特征在于，

上述溫度檢測器在上述被加熱體上設有多個；

該加熱器控制裝置具有：

前處理部，從上述多個溫度檢測器輸入溫度信息值，使用被輸入的溫度信息值組中的、從最小值或最大值的一個或兩者去除了至少1個溫度信息值后的其余的溫度信息值，求出代表溫度值；及

反饋控制部，控制上述加熱器，以使上述代表溫度值成為上述目標溫度值。

2.如權利要求1所述的加熱器控制裝置，其特征在于，

上述被加熱體被劃分為多個區域，并且按照上述區域具有上述加熱器和多個溫度檢測器；

上述前處理部使用從上述每個區域的各溫度檢測器輸入的溫度信息值，按照區域求出上述代表溫度值。

3.如權利要求1或2所述的加熱器控制裝置，其特征在于，

上述前處理部求出上述溫度信息值的平均值作為代表溫度值。

4.如權利要求1或2所述的加熱器控制裝置，其特征在于，

上述前處理部求出上述溫度信息值的中值作為代表溫度值。

5.如權利要求1或2所述的加熱器控制裝置，其特征在于，

上述前處理部求出上述溫度信息值的眾數作為代表溫度值。

6.一種加熱器控制方法，基于從檢測被加熱體的溫度的溫度檢測器輸出的溫度信息值控制加熱器，以使上述被加熱體的溫度成為目標溫度值，其特征在于，

將溫度檢測器在上述被加熱體上設置多個；

使用由上述多個溫度檢測器得到的溫度信息值組中的、從最小值或最大值的一個或兩者去除了至少1個溫度信息值后的其余的溫度信息值，求出代表溫度值；

控制上述加熱器，以使上述代表溫度值成為上述目標溫度值。

7.一種基板處理裝置，其特征在于，具有：

基板保持部；

作為被加熱體的板，在被上述基板保持部保持的基板的上方與上述基板對置配置；

加熱器，將該板加熱；

多個溫度檢測器，設在該板上；及

上述權利要求1所述的加熱器控制裝置。

8.一種基板處理方法，其特征在于，

具有：

作為被加熱體的板，在被基板保持部保持的基板的上方與上述基板對置配置；

加熱器，將該板加熱；及

多個溫度檢測器，設在該板上；

通過上述權利要求6所述的加熱器控制方法控制上述加熱器。