[發(fā)明專利]薄膜化合物太陽(yáng)電池、薄膜化合物太陽(yáng)電池的制造方法、薄膜化合物太陽(yáng)電池陣列及薄膜化合物太陽(yáng)電池陣列的制造方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201680056708.6
• 申請(qǐng)日: 2016-09-15
• 公開（公告）號(hào): CN108140679A
• 公開（公告）日: 2018-06-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高本達(dá)也
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 夏普株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L31/0224
• 分類號(hào): H01L31/0224;H01L31/043;H01L31/0468;H01L31/0687;H01L31/0693;H01L31/0749;H01L31/18
• 代理公司: 深圳市賽恩倍吉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44334
• 代理人: 汪飛亞;習(xí)冬梅

本發(fā)明是一種薄膜化合物太陽(yáng)電池，其包括：電池主體；以及樹脂膜，形成在電池主體的光接收側(cè)的相反側(cè)，此電池主體包括：太陽(yáng)電池層疊體，由多個(gè)化合物半導(dǎo)體層構(gòu)成；第一電極，形成于太陽(yáng)電池層疊體的光接收側(cè)的第一表面的一部分，且具有第一極性；第二電極，形成于太陽(yáng)電池層疊體的光接收側(cè)的與第一表面不同的第二表面，且具有第二極性；以及第三電極，形成于太陽(yáng)電池層疊體的光接收側(cè)的相反側(cè)的表面的一部分，且具有第二極性；太陽(yáng)電池層疊體包含具有PN結(jié)層的電池層與形成于此電池層的光接收面相反側(cè)的表面的一部分的接觸層；第三電極形成在接觸層上。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)對(duì)于2015年9月28日提出的日本專利特愿2015-189365號(hào)主張優(yōu)先權(quán)的利益，通過(guò)參照其，使其全部?jī)?nèi)容包含于本說(shuō)明書中。

本發(fā)明涉及一種薄膜化合物太陽(yáng)電池、薄膜化合物太陽(yáng)電池的制造方法、薄膜化合物太陽(yáng)電池陣列及薄膜化合物太陽(yáng)電池陣列的制造方法。

背景技術(shù)

現(xiàn)有的薄膜化合物太陽(yáng)電池的制造方法是通過(guò)蝕刻或外延剝離(Epitaxiallift-off)來(lái)除去基板。

利用蝕刻除去基板的過(guò)程(process)例如已公開于日本專利第5554772號(hào)(專利文獻(xiàn)1)。在專利文獻(xiàn)1中記載了如下方法：在基板上形成由多個(gè)化合物半導(dǎo)體層構(gòu)成的電池主體，在電池主體上形成背面電極，在背面電極上形成作為基材的背面膜，在背面膜上安裝加強(qiáng)材料，從電池主體分離基板。

外延剝離是指在基板與化合物半導(dǎo)體層之間制作犧牲層，通過(guò)蝕刻液除去此犧牲層，由此，分離基板與化合物半導(dǎo)體層。例如在日本專利特表2014-523132號(hào)(專利文獻(xiàn)2)及日本專利第5576243號(hào)(專利文獻(xiàn)3)中公開了外延剝離過(guò)程。

在專利文獻(xiàn)2中記載了執(zhí)行外延剝離處理的方法，此外延剝離處理包含：使一個(gè)以上的第一保護(hù)層在第一基板上生長(zhǎng)；使AlAs層生長(zhǎng)；使一個(gè)以上的第二保護(hù)層生長(zhǎng)；在第二保護(hù)層上堆積至少一個(gè)活性光伏性電池層；利用金屬覆蓋活性光伏性電池層的上部；利用金屬覆蓋第二基板；將兩個(gè)金屬表面彼此壓緊而冷焊接合；以及利用選擇性化學(xué)蝕刻來(lái)除去AlAs層。此外，在專利文獻(xiàn)3中記載了包含如下工序的III-V化合物薄膜太陽(yáng)電池的加工方法，此工序是指在活性層上，直接與此活性層接觸地形成金屬襯里層(backing layer)，從所述活性層與所述基板之間除去所述犧牲層，以從所述基板分離III-V化合物薄膜太陽(yáng)電池。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文件

專利文獻(xiàn)1：日本專利第5554772號(hào)

專利文獻(xiàn)2：日本專利特表2014-523132號(hào)

專利文獻(xiàn)3：日本專利第5576243號(hào)

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題

專利文獻(xiàn)1的背面電極全面性地形成在電池主體上。專利文獻(xiàn)2的經(jīng)過(guò)冷焊接合后的金屬層全面性地形成在活性光伏性電池層的上部。專利文獻(xiàn)3的金屬襯里層全面性地形成在活性層上。因此，利用這些方法制造出的太陽(yáng)電池并未成為使光透射至光接收面的相反側(cè)的結(jié)構(gòu)。

因此，存在如下問題，即，無(wú)法應(yīng)用專利文獻(xiàn)1、專利文獻(xiàn)2及專利文獻(xiàn)3所記載的方法于制造雙面采光型太陽(yáng)電池或機(jī)械堆疊(mechanical stack)的上部太陽(yáng)電池。

本發(fā)明是鑒于如上所述的現(xiàn)狀而成的發(fā)明，其目的在于提供使光透射至光接收面的相反側(cè)的薄膜化合物太陽(yáng)電池及薄膜化合物太陽(yáng)電池陣列。

解決問題的手段