[發明專利]打印系統組件和方法

有效

• 申請號: 201680055770.3
• 申請日: 2016-09-20
• 公開（公告）號: CN108028318B
• 公開（公告）日: 2022-04-22
• 發明（設計）人: E.弗倫斯基
• 申請（專利權）人: 科迪華公司
• 主分類號: H01L51/00
• 分類號: H01L51/00;H01L51/56;H01L33/00;H01L21/67;B41J2/165;B41J29/13
• 代理公司: 北京坦路來專利代理有限公司 11652
• 代理人: 索翌

用于打印基板的打印系統可以容納在氣體封裝件中，其中，可以將在所述封裝件內的環境維持為受控打印環境。受控環境可以包括：對在所述氣體封裝件內的氣體環境的類型的控制、對在所述封裝件內的顆粒物質的大小和水平的控制、對在所述封裝件內的溫度的控制、以及對照明的控制。各種實施例可以包括使用線性空氣軸承技術的X軸和Y軸運動系統以及作為基板設備的超聲波浮動臺，其構造成顯著降低在所述氣體封裝件內的過量熱負荷。此外，使用線性空氣軸承運動系統的X軸和Y軸運動系統以及作為基板設備的超聲波浮動臺是低顆粒生成裝置，與過濾和循環系統結合，可以提供低顆粒打印系統環境。

有關申請的交叉引用

該申請要求2015年9月24日提交的美國臨時申請No. 62/232,339的權益，該臨時申請以引用的方式全部并入本文。

概述

對有機發光二極管（OLED）顯示器技術的潛能的關注已經由包括顯示器面板的演示的OLED顯示器技術性質驅動，所述顯示器面板具有高度飽和的顏色、高對比度、超薄、快速響應、而且能量有效。另外，各種基板材料（包括柔性聚合物材料）可以用于制造OLED顯示器技術。盡管針對小屏幕應用（主要針對蜂窩電話）的顯示器的演示已經用來強調該技術的潛力，但是在一定范圍的基板版式中以高產量定標大容量制造方面仍然存在挑戰。

針對版式的定標，Gen 5.5基板具有大約130cm x 150cm的尺寸，并且可以產生大約8個26”平板顯示器。相比之下，較大版式的基板可以包括使用Gen 7.5和Gen 8.5母玻璃基板大小。Gen 7.5母玻璃具有大約195cm x 225cm的尺寸，并且可以切割成每基板8個42”或者6個47”平板顯示器。Gen 8.5中使用的母玻璃大約為220cm x 250cm，并且可以切割成每基板6個55”或者8個46”平板顯示器。在將OLED顯示器制造定標成較大版式中仍存在的挑戰的一個指示是：在大于Gen 5.5基板的基板上以高產量大容量制造OLED顯示器已被證明為極具挑戰性。

原則上，可以通過使用OLED打印系統在基板上打印各種有機薄膜以及其它材料來制造OLED裝置。這種有機材料可能容易受到氧化和其它化學過程的損害。以可以定標用于各種基板大小并且可以在惰性的、基本上低顆粒的打印環境中進行的方式來容納OLED打印系統可以提出各種工程挑戰。用于高吞吐量大版式基板打印（例如，諸如Gen 7.5和Gen 8.5基板的打印）的制造工具需要非常大型的設施。因此，將大型設施維持在惰性環境下、需要氣體凈化來移除反應性大氣物種（諸如，水蒸氣、氧氣和臭氧）和有機溶劑蒸氣以及保持基本上低顆粒的打印環境已證明極具挑戰性。

因而，在一定范圍的基板版式中以高產量定標大容量制造OLED顯示器技術方面仍然存在挑戰。因此，存在對可以在惰性的、基本上低顆粒的環境中容納OLED打印系統的、并且可以容易地定標以提供用于在各種基板大小和基板材料上制造OLED面板的本教導氣體封裝系統的各種實施例的需要。另外，本教導的各種氣體封裝系統可以在處理期間提供從外部對OLED打印系統的容易接近，并且提供對內部的容易接近以便在最少的停機時間下進行維護。

附圖說明

將通過參考附圖來獲取對本公開的特征和優點的更好理解，附圖旨在示出，而不是限制本教導。在附圖中，該附圖并不一定需要按比例繪制，相同的標記可以在不同的視圖中描述相似的部件。具有不同的字母后綴的相同標記可以表示相似部件的不同實例。

圖1A是根據本教導的各種實施例的氣體封裝組件的視圖的前透視圖。圖1B描繪了如圖1A中描繪的氣體封裝組件的各種實施例的分解圖。圖1C描繪了在圖1B中描繪的打印系統的放大等距透視圖。

圖2A-圖2C是相對于根據本教導的超聲波浮動臺的各種實施例浮動的基板的示意性截面圖。

圖3是根據本教導的打印系統的放大等距視圖，其示出了Y軸運動系統。

圖4A是根據本教導的系統和方法的各種實施例的Y軸運動系統的俯視圖。圖4B是圖4A的放大部分俯視圖。