[發明專利]打印系統組件和方法

有效

• 申請號: 201680055770.3
• 申請日: 2016-09-20
• 公開（公告）號: CN108028318B
• 公開（公告）日: 2022-04-22
• 發明（設計）人: E.弗倫斯基
• 申請（專利權）人: 科迪華公司
• 主分類號: H01L51/00
• 分類號: H01L51/00;H01L51/56;H01L33/00;H01L21/67;B41J2/165;B41J29/13
• 代理公司: 北京坦路來專利代理有限公司 11652
• 代理人: 索翌

1.一種打印系統，包括：

限定內部的氣體封裝件；以及

打印系統，所述打印系統容納在氣體封裝組件的所述內部中，所述打印系統包括：

打印頭組件，所述打印頭組件包括至少一個打印頭；

基板支撐設備，用于支撐基板，其中，所述基板支撐設備包括超聲波浮動臺；以及

運動系統，用于相對于所述打印頭組件來定位所述基板，所述運動系統包括：

Y軸線性空氣軸承運動系統，所述Y軸線性空氣軸承運動系統構造有用于夾持所述基板的基板夾持器組件，和用于使所述基板的定向與行進Y軸維持平行的夾持器運動控制系統；以及

X軸線性空氣軸承運動系統。

2.根據權利要求1所述的打印系統，其中，所述夾持器運動系統能夠使基板平行于所述行進Y軸的定向維持在+/-4300微弧度內。

3.根據權利要求1所述的打印系統，其中，所述超聲波浮動臺構造成提供真空預加載。

4.根據權利要求3所述的打印系統，所述超聲波浮動臺構造有真空歧管，以提供真空預加載。

5.根據權利要求3所述的打印系統，所述超聲波浮動臺構造有多孔板，以提供真空預加載。

6.根據權利要求3所述的打印系統，其中，所述真空預加載提供用于基板的面向上的定向。

7.根據權利要求3所述的打印系統，其中，所述真空預加載提供用于基板的面向下的定向。

8.根據權利要求1所述的打印系統，其中，所述超聲波浮動臺構造成支撐從第3.5代到第10代的范圍內大小的基板。

9.根據權利要求1所述的打印系統，其中，所述打印系統進一步包括氣體循環和過濾系統。

10.根據權利要求9所述的打印系統，其中，所述過濾系統構造成提供低顆粒環境，所述低顆粒環境包括：針對大小大于或者等于2mm的顆粒，每分鐘每平方米基板小于或者等于100個顆粒的基板上沉積速率規格。

11.根據權利要求10所述的打印系統，其中，所述打印系統進一步包括氣體凈化系統。

12.根據權利要求11所述的打印系統，其中，所述氣體凈化系統將氣體維持在每個反應性物種小于100ppm。

13.根據權利要求12所述的打印系統，其中，所述反應性物種選自水蒸氣、氧氣和臭氧。

14.根據權利要求13所述的打印系統，其中，包含在所述氣體封裝件的內部中的氣體是惰性氣體。

15.根據權利要求14所述的打印系統，其中，所述惰性氣體選自氮、任何稀有氣體、及其組合。

16.一種用于在打印系統中打印基板的方法，包括：

在氣體封裝件中控制處理環境，所述氣體封裝件構造成容納打印系統，其中，所述處理環境被控制在與氣體封裝件外部的環境不同的限定規格；

在基板支撐設備上方的氣墊上浮動基板，其中，所述基板支撐設備構造成使用超聲波浮動來支撐基板；

在支撐在氣墊上的同時將基板輸送到打印系統的打印區域；以及

使用運動系統在打印區域中的基板上進行打印，同時使用所述超聲波浮動來支撐打印區域中的基板，所述運動系統構造成將基板相對于具有至少一個打印頭的打印頭裝置定位。