[發(fā)明專利]壓電元件以及其制造方法、壓電驅(qū)動器在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201680053346.5 | 申請日： | 2016-09-01 |
| 公開（公告）號： | CN108028310A | 公開（公告）日： | 2018-05-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 秋山典之;中村明 | 申請（專利權(quán)）人： | 三美電機(jī)株式會社 |
| 主分類號： | H01L41/09 | 分類號： | H01L41/09;B81B3/00;B81C1/00;G02B26/08;G02B26/10;H01L41/047;H01L41/053;H01L41/23;H01L41/29;H01L41/332;G02B27/48 |
| 代理公司： | 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243 | 代理人： | 金成哲;宋春華 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 壓電 元件 及其 制造 方法 驅(qū)動器 | ||
1.一種壓電元件，其特征在于，具有：
基板；
形成于上述基板上的下部電極；
形成于上述下部電極上的壓電膜；以及
形成于上述壓電膜上的上部電極，
上述上部電極形成在實(shí)施了平坦化處理的面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電元件，其特征在于，
實(shí)施了上述平坦化處理的面是上述壓電膜的上表面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電元件，其特征在于，
實(shí)施了上述平坦化處理的面是形成了保護(hù)膜而得到的面，上述保護(hù)膜形成于上述壓電膜與上述上部電極之間。
4.一種壓電驅(qū)動器，其特征在于，具備權(quán)利要求1所述的壓電元件。
5.一種壓電元件的制造方法，其特征在于，具備：
在基板上形成下部電極的工序；
在上述下部電極上形成壓電膜的工序；
對上述壓電膜實(shí)施平坦化處理的工序；以及
在通過實(shí)施上述平坦化處理的工序而形成的面形成上部電極的工序。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的壓電元件的制造方法，其特征在于，
在對上述壓電膜實(shí)施平坦化處理的工序中，對上述壓電膜的上表面實(shí)施刻蝕加工，將上述壓電膜的上表面做成實(shí)施了上述平坦化處理的面。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓電元件的制造方法，其特征在于，
上述刻蝕加工通過氣體團(tuán)簇離子束進(jìn)行。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的壓電元件的制造方法，其特征在于，
在上述壓電膜實(shí)施平坦化處理的工序中，在上述壓電膜的上表面形成保護(hù)膜。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的壓電元件的制造方法，其特征在于，
在對上述壓電膜實(shí)施平坦化的工序中，在對上述壓電膜的上表面實(shí)施了刻蝕加工后，在上述壓電膜的上表面形成保護(hù)膜。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的壓電元件的制造方法，其特征在于，
上述保護(hù)膜通過原子層沉積法形成。
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