[發(fā)明專利]具有優(yōu)化電容的不透光焊盤結(jié)構(gòu)的X射線檢測器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201680049512.4
• 申請日: 2016-06-03
• 公開（公告）號: CN107949912B
• 公開（公告）日: 2019-06-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: M·格勒普爾;E·格德爾;T·祖特普
• 申請（專利權(quán)）人: 西門子醫(yī)療有限公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 王茂華;杜波

1.一種X射線檢測器(1)，包括一個襯底(23)，所述襯底(23)具有在一個讀出觸點(57)和一個前置放大器(3)的一個輸入端之間的一個導(dǎo)電連接，所述讀出觸點(57)具有經(jīng)由一個焊接連接而到達(dá)一個傳感器(53)的一個導(dǎo)電連接，所述讀出觸點(57)位于所述襯底(23)的頂側(cè)的區(qū)域中，所述前置放大器(3)位于一個集成電路的一個有源層(5)中，其中，

a.一個第一導(dǎo)電連接(17)被設(shè)置在所述讀出觸點和一個第二導(dǎo)電連接(19)之間，

b.所述襯底(23)的所述頂側(cè)處的一個第一光防護(hù)件(7)的表面大于一個透光區(qū)域(15)的表面，使得所述第一光防護(hù)件(7)的所述表面在沿表面法線的第一投影中覆蓋所述透光區(qū)域(15)的所述表面，所述透光區(qū)域(15)位于所述襯底(23)中并且在側(cè)向上由一個第二光防護(hù)件(9)界定，并且所述透光區(qū)域(15)位于由所述第一光防護(hù)件(7)遮蔽的區(qū)域中，

c.所述第一光防護(hù)件(7)在所述襯底(23)的上表面處位于所述讀出觸點(57)之上，或者所述第一光防護(hù)件(7)與所述讀出觸點(57)一起形成一個單元，

d.所述第二導(dǎo)電連接(19)被設(shè)置在所述透光區(qū)域(15)的所述表面沿所述表面法線的第二投影內(nèi)并且位于所述第二光防護(hù)件(9)下方，

e.在所述第二導(dǎo)電連接(19)和所述前置放大器(3)之間的第三導(dǎo)電連接(21)被設(shè)置在所述第二光防護(hù)件(9)下方，并且

f.所述第一導(dǎo)電連接(17)和所述第三導(dǎo)電連接(21)是通孔連接，

從而所述前置放大器(3)的所述輸入端被保護(hù)以免受光的直接入射。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的X射線檢測器(1)，其中所述讀出觸點(57)是所述第一光防護(hù)件(7)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1和2中任一項所述的X射線檢測器(1)，其中所述第一導(dǎo)電連接(17)或所述第三導(dǎo)電連接(21)至少部分地被設(shè)計為一個多層通孔連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1和2中任一項所述的X射線檢測器(1)，其中一個第一絕緣層(25)被設(shè)置在所述襯底(23)的所述頂側(cè)和所述第二光防護(hù)件(9)之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求1和2中任一項所述的X射線檢測器(1)，其中所述第一導(dǎo)電連接(17)包括一個中間觸點(27)，所述第二光防護(hù)件(9)包括多個金屬層，并且所述中間觸點(27)被設(shè)置在一個上金屬層中。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的X射線檢測器(1)，其中在沿所述表面法線的投影中，所述中間觸點(27)具有比所述讀出觸點(57)小的表面。

7.根據(jù)權(quán)利要求1、2和6中任一項所述的X射線檢測器(1)，其中所述第一導(dǎo)電連接(17)以導(dǎo)電的方式將所述讀出觸點(57)連接到所述第二導(dǎo)電連接(19)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的X射線檢測器(1)，其中所述第一導(dǎo)電連接(17)包括所述讀出觸點(57)和所述中間觸點(27)之間的一個通孔連接、所述中間觸點(27)、以及所述中間觸點(27)和所述第二導(dǎo)電連接(19)之間的一個多層通孔連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1、2、6、和8中任一項所述的X射線檢測器(1)，其中所述集成電路的一個有源層(5)通過所述第一光防護(hù)件(7)、所述第二光防護(hù)件(9)或一個第三光防護(hù)件(11)而被保護(hù)以免受來自所述頂側(cè)的光的直接入射。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的X射線檢測器(1)，其中所述第二光防護(hù)件(9)或所述第三光防護(hù)件(11)是一個金屬層。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的X射線檢測器(1)，其中所述第三光防護(hù)件(11)具有一個間隙。

12.根據(jù)權(quán)利要求10和11中任一項所述的X射線檢測器(1)，其中所述第三光防護(hù)件(11)是所述第二光防護(hù)件(9)下方的一個金屬層。