[發明專利]驅動裝置、定位裝置、平版印刷裝置和物品制造方法

有效

• 申請號: 201680049076.0
• 申請日: 2016-08-31
• 公開（公告）號: CN107924138B
• 公開（公告）日: 2020-05-12
• 發明（設計）人: 平田光男;鈴木雅康;圓山智史
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G05D3/00
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 楊小明

1.一種驅動包括線圈和磁體的馬達的驅動裝置，其特征在于，所述驅動裝置包括：

電流驅動器，電流驅動器被配置為向線圈供應電流；以及

控制器，控制器被配置為產生要供應給電流驅動器的電流命令值，

其中控制器包括：

第一換向計算機，第一換向計算機被配置為基于命令值和通過計算命令值獲得的計算值中的一個來產生第一電流命令值，

第二換向計算機，第二換向計算機被配置為基于命令值產生第二電流命令值，

校正值確定器，校正值確定器被配置為基于第二電流命令值確定校正值，以及

校正器，校正器被配置為基于第一電流命令值和校正值來產生電流命令值，并且

其中，當電流驅動器具有傳遞函數F(s)時，校正值確定器具有傳遞函數(F(s)^-1-1)。

2.如權利要求1所述的驅動裝置，其中命令值是用于對由馬達驅動的驅動目標執行前饋控制的前饋命令值，以及

所述計算值是前饋命令值與基于由馬達驅動的驅動目標的控制誤差確定的反饋命令值之和。

3.如權利要求2所述的驅動裝置，其中所述控制器包括：

第一相位計算器，第一相位計算器被配置為獲得角度偏移，該角度偏移為馬達的電角度與檢測到的旋轉角度之間的差值，所述檢測到的旋轉角度為驅動目標的旋轉角度的檢測結果，以及

第二相位計算器，第二相位計算器被配置為基于所述角度偏移和驅動目標的目標旋轉角度來獲得校正后的電角度，并且

其中，第二換向計算機基于前饋命令值和校正后的電角度來產生第二電流命令值。

4.如權利要求2所述的驅動裝置，其中控制器包括：

第一相位計算器，第一相位計算器被配置為獲得角度偏移，該角度偏移為馬達的電角度與從檢測到的位置轉換的旋轉角度之間的差值，所述檢測到的位置為驅動目標的位置的檢測結果，以及

第二相位計算器，第二相位計算器被配置為基于所述角度偏移和驅動目標的目標位置來獲得校正后的電角度，并且

其中，第二換向計算機基于前饋命令值和校正后的電角度來產生第二電流命令值。

5.如權利要求1所述的驅動裝置，其中第一換向計算機和第二換向計算機根據相同的計算公式執行換向計算。

6.如權利要求1所述的驅動裝置，還包括被配置為測量線圈的溫度的傳感器，其中(F(s)^-1-1)基于由所述傳感器測得的溫度而變化。

7.一種驅動包括線圈和磁體的馬達的驅動裝置，其特征在于，所述驅動裝置包括：

電流驅動器，電流驅動器被配置為向線圈供應電流；以及

控制器，控制器被配置為產生要供應給電流驅動器的電流命令值，

其中控制器包括：

第一換向計算機，第一換向計算機被配置為基于命令值和通過計算命令值獲得的計算值中的一個來產生第一電流命令值，

第二換向計算機，第二換向計算機被配置為基于命令值產生第二電流命令值，

校正值確定器，校正值確定器被配置為基于第二電流命令值確定校正值，以及

校正器，校正器被配置為基于第一電流命令值和校正值來產生電流命令值，并且

其中，與在其中電流驅動器接收第一電流命令值的情況下相比，在其中電流驅動器接收基于第一電流命令值和校正值產生的電流命令值的情況下，不管頻率如何，校正值確定器都將使得至電流驅動器的輸入與從電流驅動器的輸出之間的相位差被減小的校正值確定為校正值。

8.如權利要求7所述的驅動裝置，其中當所述電流驅動器具有傳遞函數F(s)時，校正值確定器具有傳遞函數F(s)^-1。

9.如權利要求7所述的驅動裝置，其中所述校正值確定器的傳遞函數相對于F(s)^-1具有預先確定的差值。