[發明專利]驅動裝置、定位裝置、平版印刷裝置和物品制造方法

有效

• 申請號: 201680049076.0
• 申請日: 2016-08-31
• 公開（公告）號: CN107924138B
• 公開（公告）日: 2020-05-12
• 發明（設計）人: 平田光男;鈴木雅康;圓山智史
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G05D3/00
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 楊小明

一種用于驅動具有線圈和磁體的馬達的驅動裝置，包括：向線圈供應電流的電流驅動器，以及產生要供應給電流驅動器的電流命令值的控制器。控制器包括：第一換向計算機(8)，其基于命令值和通過計算命令值獲得的計算值中的一個產生第一電流命令值；第二換向計算機(15)，其基于命令值產生第二電流命令值；校正值確定器(16)，其基于第二電流命令值確定校正值；以及校正器(10)，其基于第一電流命令值和校正值產生電流命令值。當電流驅動器具有傳遞函數F(s)時，校正值確定器具有傳遞函數(F(s)^?1?1)。

技術領域

本發明涉及驅動裝置、定位裝置、平版印刷裝置和物品制造方法。

背景技術

日本專利公開號2010-286927涉及線性馬達驅動臺架。日本專利公開號2010-286927描述了流過線性馬達的線圈的電流與命令值不匹配，并且由于電流驅動器的特性而產生電流誤差。日本專利公開號2010-286927描述了使用通過將命令電流的微分值乘以增益而獲得的校正項作為校正電流誤差的方法的技術。日本專利號3339195涉及伺服控制裝置。日本專利號3339195描述了基于馬達的電阻值和馬達的電感值來計算電流反饋的延遲量作為校正量的技術。

在日本專利公開號2010-286927和日本專利號3339195中描述的技術中，計算校正項和校正量，以便校正由于電流回路中的延遲而產生的誤差。但是，在該校正項和校正量中也會產生誤差，并且這可能產生驅動誤差。

發明內容

本發明提供了一種有利于更精確地驅動馬達的技術。

本發明的一個方面提供了一種驅動包括線圈和磁體的馬達的驅動裝置，所述裝置包括：電流驅動器，電流驅動器被配置為向線圈供應電流；以及控制器，控制器被配置為產生要供應給電流驅動器的電流命令值，其中控制器包括：第一換向計算機，第一換向計算機被配置為基于命令值和通過計算命令值獲得的計算值中的一個來產生第一電流命令值，第二換向計算機，第二換向計算機被配置為基于命令值產生第二電流命令值，校正值確定器，校正值確定器被配置為基于第二電流命令值確定校正值，以及校正器，校正器被配置為基于第一電流命令值和校正值來產生電流命令值，并且當電流驅動器具有傳遞函數F(s)時，校正值確定器具有傳遞函數(F(s)^-1-1)。

從以下參考附圖對示例性實施例的描述中，本發明的其它特征將變得清晰。

附圖說明

圖1是示出根據本發明的第一實施例的驅動裝置的布置的示意圖；

圖2是示出根據本發明的第一實施例的驅動裝置的布置的框圖；

圖3示出了時序圖，每個時序圖示出了馬達的驅動形態；

圖4是示出根據本發明的第二實施例的驅動裝置的布置的示意圖；

圖5是示出根據本發明的第二實施例的驅動裝置的布置的框圖；

圖6是示出F(s)的詳細示例的框圖；

圖7是示出根據本發明的第三實施例的定位裝置的布置的圖；

圖8是示出校正值確定器的詳細示例的框圖；

圖9是示出了時序圖，每個時序圖示出了在模擬中使用的臺架的驅動形態(profile)；

圖10A示出了示出模擬結果的時序圖；

圖10B示出了示出模擬結果的時序圖；

圖10C示出了示出模擬結果的時序圖；

圖10D示出了示出模擬結果的時序圖；

圖11是示出模擬結果的時序圖；

圖12A示出了示出模擬結果的時序圖；