[發(fā)明專利]用于指派集成電路布局中的群約束的系統(tǒng)和方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201680048271.1
• 申請(qǐng)日: 2016-07-01
• 公開（公告）號(hào): CN107924135B
• 公開（公告）日: 2019-08-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: L·李維利-卡佐
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 高通股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;G06F17/50
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 楊麗;李小芳

1.一種將群約束指派到電路布局中的特征以用于多重圖案化工藝的方法，包括：

確定所述電路布局內(nèi)的特征；

確定對(duì)所述特征中的至少一個(gè)特征的距離約束；

基于所述距離約束來確定對(duì)所述特征的群約束，所述群約束定義對(duì)所述特征中的每一特征所能夠指派的群的限制；以及

將所述群約束指派到所述特征。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，確定所述距離約束包括確定所述電路布局內(nèi)的毗鄰特征之間的間隔距離。

3.如權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，確定所述距離約束包括基于所述特征中的至少兩個(gè)特征之間的間隔距離是否小于閾值間隔距離來確定所述距離約束。

4.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述特征處于所述電路布局的同一層中。

5.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述群中的每一群是不同顏色，每一顏色對(duì)應(yīng)于不同的掩模集。

6.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，確定所述群約束包括：

確定對(duì)所述特征中的至少一個(gè)特征的距離約束的數(shù)目；以及

將第一群約束指派到所述特征中具有最大數(shù)目的距離約束的第一特征；以及

基于指派到第一特征的第一群約束，將附加群約束指派到所述特征中的其他特征。

7.如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，將附加群約束指派到所述特征中的其余特征包括：

基于對(duì)所述特征中的第1個(gè)特征到第n-1個(gè)特征的先前指派的群約束來為所述特征中的第n個(gè)特征指派群約束。

8.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，確定所述群約束包括：

為所述特征中的至少一個(gè)特征確定等式，所述等式在邏輯上定義對(duì)所述特征中的所述至少一個(gè)特征所能夠指派的群的限制。

9.一種用于將群約束指派到電路布局中的特征以用于多重圖案化工藝的裝置，包括：

存儲(chǔ)器；以及

耦合到所述存儲(chǔ)器的至少一個(gè)處理器，所述至少一個(gè)處理器被配置成：

確定所述電路布局內(nèi)的特征；

確定對(duì)所述特征中的至少一個(gè)特征的距離約束；

基于所述距離約束來確定對(duì)所述特征的群約束，所述群約束定義對(duì)所述特征中的每一特征所能夠指派的群的限制；以及

將所述群約束指派到所述特征。

10.如權(quán)利要求9所述的裝置，其特征在于，所述至少一個(gè)處理器在確定所述群約束時(shí)被進(jìn)一步配置成：

確定對(duì)所述特征中的至少一個(gè)特征的距離約束的數(shù)目；以及

將第一群約束指派到所述特征中具有最大數(shù)目的距離約束的第一特征；以及

基于指派到第一特征的第一群約束，將附加群約束指派到所述特征中的其他特征。

11.如權(quán)利要求10所述的裝置，其特征在于，所述至少一個(gè)處理器在將附加群約束指派到其余特征時(shí)被進(jìn)一步配置成：

基于所述特征中的第1個(gè)特征到第n-1個(gè)特征的先前指派的群約束來為所述特征中的第n個(gè)特征指派群約束。

12.如權(quán)利要求9所述的裝置，其特征在于，所述至少一個(gè)處理器在確定所述群約束時(shí)被進(jìn)一步配置成：

為所述特征中的至少一個(gè)特征確定等式，所述等式在邏輯上定義對(duì)所述特征中的至少一個(gè)特征所能夠指派的群的限制。

13.一種配置單元的特征的群約束以用于多重圖案化工藝的方法，包括：

接收包括多個(gè)鄰接單元的集成電路布局；

確定所述多個(gè)鄰接單元中的第一單元的群約束是否與所述多個(gè)鄰接單元中的第二單元的群約束相沖突，所述第一單元與所述第二單元鄰接；以及

基于所述第二單元的群約束以及基于與所述第二單元的群約束相沖突的所述第一單元的群約束來配置所述第一單元的群約束的子集。