[發(fā)明專利]多層印刷布線板的制造方法、帶粘接層的金屬箔、覆金屬的層疊板、多層印刷布線板有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201680047111.5 | 申請(qǐng)日: | 2016-08-10 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN107926121B | 公開(kāi)(公告)日: | 2021-04-30 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 小野關(guān)仁;井上翼;山岸一次;清水浩 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 昭和電工材料株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào): | H05K3/46 | 分類號(hào): | H05K3/46;H05K3/00 |
| 代理公司: | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021 | 代理人: | 薛海蛟 |
| 地址: | 日本*** | 國(guó)省代碼: | 暫無(wú)信息 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 多層 印刷 布線 制造 方法 帶粘接層 金屬 層疊 | ||
1.一種多層印刷布線板的制造方法,其具有下述工序1~3,
工序1:在帶內(nèi)層電路的基板上,隔著有機(jī)絕緣樹(shù)脂層,將依次具有支承體、厚度為3μm以下且相對(duì)于所述內(nèi)層電路的厚度為1/10以上且1/6以下的金屬箔、和厚度為1μm以上且10μm以下的有機(jī)粘接層的帶粘接層的金屬箔按照所述有機(jī)絕緣樹(shù)脂層與所述有機(jī)粘接層相向的方式進(jìn)行層疊之后,剝離所述支承體,形成具有所述金屬箔作為外層金屬箔層的層疊板(a);
工序2:對(duì)所述層疊板(a)照射激光而將所述外層金屬箔層、有機(jī)粘接層和有機(jī)絕緣樹(shù)脂層開(kāi)孔,形成具有盲導(dǎo)孔的開(kāi)孔層疊板(b);
工序3:通過(guò)下述工序3-1~3-4形成與所述內(nèi)層電路連接的外層電路;
工序3-1:將所述工序2中形成的開(kāi)孔層疊板(b)的外層金屬箔層蝕刻除去后,在該開(kāi)孔層疊板(b)上形成厚度2μm以下的外層銅層,
工序3-2:通過(guò)涂布于所述外層銅層上的抗蝕劑而形成抗蝕劑圖案,
工序3-3:通過(guò)電解鍍銅在未形成所述抗蝕劑圖案的外層銅層的表面形成電路層,
工序3-4:除去所述抗蝕劑圖案后,將露出的外層銅層通過(guò)蝕刻而除去,形成與內(nèi)層電路連接的外層電路。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層印刷布線板的制造方法,其中,所述金屬箔的在所述有機(jī)粘接層側(cè)的面的十點(diǎn)平均表面粗糙度Rz為3.0μm以下。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多層印刷布線板的制造方法,其中,使用了熱固化性樹(shù)脂組合物作為所述有機(jī)粘接層,所述熱固化性樹(shù)脂組合物含有環(huán)氧樹(shù)脂、高分子成分、環(huán)氧樹(shù)脂固化劑、固化促進(jìn)劑和比表面積為20m2/g以上的無(wú)機(jī)填充材料,且該無(wú)機(jī)填充材料的含量相對(duì)于環(huán)氧樹(shù)脂100質(zhì)量份為1質(zhì)量份~10質(zhì)量份。
4.一種帶粘接層的金屬箔,其具有厚度為3μm以下的金屬箔和厚度為1μm以上且10μm以下的有機(jī)粘接層,且使用了熱固化性樹(shù)脂組合物作為所述有機(jī)粘接層,所述熱固化性樹(shù)脂組合物含有環(huán)氧樹(shù)脂、高分子成分、環(huán)氧樹(shù)脂固化劑、固化促進(jìn)劑和比表面積為20m2/g以上的無(wú)機(jī)填充材料,且該無(wú)機(jī)填充材料的含量相對(duì)于環(huán)氧樹(shù)脂100質(zhì)量份為1質(zhì)量份~10質(zhì)量份。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的帶粘接層的金屬箔,其中,所述金屬箔的在所述有機(jī)粘接層側(cè)的面的十點(diǎn)平均表面粗糙度Rz為3.0μm以下。
6.一種覆金屬的層疊板,其是使用權(quán)利要求4或5所述的帶粘接層的金屬箔而成的。
7.一種多層印刷布線板,其是使用權(quán)利要求4或5所述的帶粘接層的金屬箔或權(quán)利要求6所述的覆金屬的層疊板而成的。
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