[發(fā)明專利]取出裝置及保管裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201680045249.1
• 申請(qǐng)日: 2016-07-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108349649B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-07-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 小合玄己
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 村田機(jī)械株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B65G1/00
• 分類號(hào): B65G1/00;H01L21/673;B65G1/04
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 龐乃媛

取出裝置(1)具備：從貨物(120)的前方一側(cè)支承貨物(120)的前方部分的支承部(13)，經(jīng)由連結(jié)部件(142)連結(jié)在使支承部(13)能夠沿上下方向移動(dòng)的移動(dòng)裝置(140)上的連結(jié)部(9、11)，以及將連結(jié)部(9、11)夾在中間、設(shè)置在與支承部(13)相反一側(cè)的把持部(15、17)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及取出裝置和保管裝置。

背景技術(shù)

作為收容半導(dǎo)體晶圓的半導(dǎo)體搬送用盒，例如有FOUP(Front-Opening UnifiedPod，前開(kāi)式標(biāo)準(zhǔn)晶圓盒)。在保管FOUP的保管裝置中，用于進(jìn)行出入庫(kù)的端口與貨架之間的FOUP的移載利用移載裝置來(lái)進(jìn)行。在具備移載裝置的保管裝置中，在因移載裝置的動(dòng)作故障等而不能進(jìn)行移載的情況下，人工進(jìn)行FOUP的移載。但是，近年來(lái)，由于半導(dǎo)體晶圓大直徑化，伴隨于此，F(xiàn)OUP也大型化(大重量化)，因此人工處置FOUP困難。

因此，例如專利文獻(xiàn)1中記載的保管裝置中除了移載裝置之外還具備能夠手動(dòng)操作的手動(dòng)搬送裝置。該手動(dòng)搬送裝置具備：能夠把持FOUP的凸緣的把持部、連結(jié)在把持部上的傳送帶、卷起傳送帶的提升部、以及能夠在保管裝置內(nèi)的頂棚上滑動(dòng)地設(shè)置的滑動(dòng)部，在不能使用移載裝置的情況下，手動(dòng)進(jìn)行FOUP的搬送。

在先技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

【專利文獻(xiàn)1】日本特開(kāi)2011－1149號(hào)公報(bào)

發(fā)明的概要

發(fā)明要解決的問(wèn)題

所述保管裝置的手動(dòng)搬送裝置中，需要將把持部安裝到FOUP的凸緣上。但是，將把持部插入FOUP與貨架之間狹窄的間隙中進(jìn)行作業(yè)不容易。因此，有關(guān)FOUP等半導(dǎo)體搬送盒的手動(dòng)進(jìn)行的搬送要求進(jìn)一步改善操作性。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的一個(gè)方面以提供實(shí)現(xiàn)操作性的提高的取出裝置和保管裝置為目的。

本發(fā)明的一個(gè)方面所涉及的取出裝置為在具備經(jīng)由前方開(kāi)口的開(kāi)口部進(jìn)出貨物的貨架的保管裝置中，用來(lái)從貨架經(jīng)由開(kāi)口部取出貨物，具備：從貨物的前方一側(cè)支承貨物的前方部分的支承部，經(jīng)由連結(jié)部件連結(jié)在能夠使支承部在上下方向移動(dòng)的移動(dòng)裝置上的連結(jié)部，以及將連結(jié)部夾在中間地設(shè)置在與支承部相反一側(cè)的把持部。

本發(fā)明的一個(gè)方面所涉及的取出裝置具備從貨物的前方一側(cè)支承貨物的前方部分的支承部。因此，即使在貨物與貨架之間的間隙狹窄的情況下，由于支承貨物的前方部分，因此不用在狹窄的間隙中進(jìn)行作業(yè)就能夠支承貨物。并且，借助經(jīng)由連結(jié)部件連結(jié)在連結(jié)部上的移動(dòng)裝置，支承部能夠在上下方向移動(dòng)。因此，經(jīng)由在利用支承部支承著貨物的狀態(tài)下由移動(dòng)裝置使支承部移動(dòng)到上方，能夠?qū)⒇浳飶呢浖芴稹Ｓ纱耍〕鲅b置中能夠容易地從貨架取出貨物，實(shí)現(xiàn)了操作性的提高。并且，在從貨架取出貨物時(shí)，支承部處于被移動(dòng)裝置經(jīng)由連結(jié)部吊掛的狀態(tài)。此時(shí)，由于貨物的重量，取出裝置向貨物一側(cè)傾斜。因此，在取出裝置中，把持部夾著連結(jié)部設(shè)置在與支承部相反的一側(cè)。通過(guò)該結(jié)構(gòu)，能夠利用把持部容易地施加克服支承部因貨物的重量而傾斜的力，因此容易保持取出裝置的平衡。因此，能夠穩(wěn)定地操作取出裝置，所以實(shí)現(xiàn)了操作性的提高。

在一個(gè)實(shí)施方式中，支承部可以具有支承貨物的底面的第1支承部和限制支承在該第1支承部上的貨物移動(dòng)的第2支承部。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠利用第1支承部穩(wěn)定地支承貨物。并且，能夠利用第2支承部防止貨物的位置偏離。因此，能夠穩(wěn)定地取出貨物。

在一個(gè)實(shí)施方式中，也可以第2支承部設(shè)置在比第1支承部靠上方，限制貨物的上下方向的移動(dòng)。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠防止利用第1支承部支承著前方部分的底面的貨物向后方一側(cè)傾斜。因此，能夠穩(wěn)定地取出貨物。

在一個(gè)實(shí)施方式中，還可以具備設(shè)置在把持部一側(cè)、可裝卸地支承配重部件的安裝部。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過(guò)配合貨物的重量地將配重部件安裝到安裝部，能夠根據(jù)貨物的重量調(diào)整平衡。由此，能夠更穩(wěn)定地取出貨物。