[發明專利]基板檢查裝置及方法

有效

• 申請號: 201680043948.2
• 申請日: 2016-07-26
• 公開（公告）號: CN108323178B
• 公開（公告）日: 2020-11-06
• 發明（設計）人: 徐承愛;李娟嬉;安元美;李惠仁;李宗輝
• 申請（專利權）人: 株式會社高迎科技
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24;G01B11/25;G01B11/26;G01N21/88;G06T7/00;G06T7/60;H01L21/66
• 代理公司: 北京青松知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11384
• 代理人: 鄭青松

公開一種用于在基板的三維檢查中顯示部件的基板檢查裝置及方法。基板檢查裝置測量基板或基板的關心檢查對象區域，將位于測量的區域內的部件的影像顯示于顯示部。顯示部顯示的部件的影像可以按事先決定的基準方向顯示。基準方向與實際部件在基板上配置的方向的差異以數值或圖形的形態顯示于顯示部。或者，按基準方向的部件影像與實際配置的部件的影像同時顯示于畫面上，使用者可以使用切換按鈕，轉換影像的顯示方式。

技術領域

本發明涉及基板檢查裝置及方法，更具體而言，涉及一種在基板檢查過程中顯示基板上貼裝的檢查對象部件的裝置及方法。

背景技術

在電子設備中，具備一個以上貼裝多樣部件的諸如印刷電路板(Printed CircuitBoard：PCB)的基板。在印刷電路板上貼裝的部件根據電子設備的目的而執行多樣的功能。為了供應各部件運轉所需的電流和在部件之間交換信號，部件需要電氣連接。為了對部件進行電氣連接而在基板上印刷焊膏，在焊膏上貼裝部件，從而使形成在基板上的焊墊部與部件的引線連接。

因此，為了電子設備正確運轉，基板上貼裝的部件需要正確配置，妥當地實現電氣連接。但是，由于組裝工序上的多樣原因，部件的配置及電氣連接可能無法完美實現。例如，可能因焊膏缺焊而無法實現電氣連接或電氣連接不充分。或者，可能因焊膏過焊而在鄰接的焊墊部或引線之間出現電氣短路。

為了解決如上所述的問題而導入并正在使用三維基板檢查技術，所述三維基板檢查是向測量對象物照射圖案光，對其進行拍攝后獲得三維影像，由此檢查基板部件的貼裝狀態。例如，專利公開公報10-2007-0122014號公開了利用圖案光的三維基板測量裝置。

基板檢查裝置可以包括在畫面中顯示所測量的基板影像的顯示部，以便使用者能夠確認作為檢查對象的基板。使用者可以從顯示部中顯示的檢查對象基板的影像，檢查基板上貼裝的各部件的貼裝狀態。

發明內容

解決的技術問題

可是，僅通過在顯示部中顯示檢查對象基板的影像，難以準確掌握貼裝狀態，特別是各焊膏的缺焊或過焊的狀態，因此，為了在基板檢查裝備中周密掌握部件的貼裝狀態，基板檢查裝備可以通過事先針對各部件的位置而從使用者接受預先輸入等方法，事先決定部件的位置，在影像測量結束之后，根據使用者的輸入而顯示關于相應部件的放大圖像，以便使用者對其放大并詳細檢查。

另一方面，在基板上配置的部件可以以多樣的形態配置，這種配置考慮部件的形態、連接關系、各部件的功能等多樣要素而決定為最高效的形態。因此，根據情況，部件可以按與使用者所認識方向不同的方向配置。

圖1圖示了部件在基板上配置的一個示例。在圖1的基板160中，配置有部件162和部件164。部件162和部件164作為相同種類的部件，如果圖2所示，在各部件162、164上配備有多個引線。

正如前面所作的說明，檢查裝備可以為了周密的檢查而向使用者顯示經放大的部件的影像。當顯示經放大的部件的影像時，基板檢查裝備可以按預先決定的既定的基準方向顯示部件，以便用戶容易確認各引線的貼裝狀態，檢討其影響。這種基準方向例如可以是使部件的多個凸塊中與VCC或GND相應的凸塊的位置A朝向顯示部上端的方向。作為一個示例，圖3圖示了針對圖1所示基板，放大顯示部件164的以往方式。在基板檢查裝置的顯示部240，顯示了測量基板260并對其進行處理而生成的部件264的三維影像244。部件264在基板260中以基板的上面261為基準按順時針方向旋轉了既定角度，但在畫面上，為了使用者的檢查便利，顯示了部件的經放大的影像244，以便與部件264的VCC和GND相應的凸塊朝向顯示部上端241。如果部件如此顯示，則使用者可以針對部件的經放大的影像244，參照原有設計圖等，容易地掌握在實際部件264的哪個部分，貼裝狀態存在問題。