[發明專利]基板檢查裝置及方法

有效

• 申請號: 201680043948.2
• 申請日: 2016-07-26
• 公開（公告）號: CN108323178B
• 公開（公告）日: 2020-11-06
• 發明（設計）人: 徐承愛;李娟嬉;安元美;李惠仁;李宗輝
• 申請（專利權）人: 株式會社高迎科技
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24;G01B11/25;G01B11/26;G01N21/88;G06T7/00;G06T7/60;H01L21/66
• 代理公司: 北京青松知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11384
• 代理人: 鄭青松

1.一種基板檢查裝置，其中，包括：

基板移送部，其移送基板；

測量部，其測量所述基板檢查所需的影像；及

顯示部，其將配置于所述基板的多個部件中的第一部件的影像，按所述第一部件的基準方向顯示；

所述顯示部顯示所述第一部件的基準方向與所述第一部件的實際配置方向的差異；

所述基準方向是為了在所述顯示部顯示所述第一部件的影像而事先決定的。

2.根據權利要求1所述的基板檢查裝置，其中，

所述顯示部按所述第一部件的實際配置方向進一步顯示所述第一部件的影像。

3.根據權利要求2所述的基板檢查裝置，其中，

所述顯示部按照顯示經測量的部件的影像的第一形式或在經測量的部件的影像中只顯示輪廓線的第二形式顯示所述第一部件的影像。

4.根據權利要求3所述的基板檢查裝置，其中，

所述顯示部根據使用者的輸入，按照所述第二形式，按所述第一部件的實際配置方向顯示所述第一部件的影像。

5.根據權利要求1所述的基板檢查裝置，其中，

所述顯示差異是將角度顯示為數值或圖形。

6.一種基板檢查方法，其中，包括：

測量基板的影像的步驟；及

顯示經測量的影像的步驟，

所述顯示影像的步驟包括：

將所述基板的多個部件中第一部件的影像，按所述第一部件的基準方向顯示的步驟，

顯示所述第一部件的基準方向與實際配置方向的差異的步驟，

其中，所述基準方向是為了在所述顯示部顯示所述第一部件的影像而事先決定的。

7.根據權利要求6所述的基板檢查方法，其中，

還包括：按所述第一部件的實際配置方向進一步顯示所述第一部件的影像的步驟。

8.根據權利要求7所述的基板檢查方法，其中，

所述進一步顯示第一部件的影像的步驟是按照顯示經測量的部件的影像的第一形式或在經測量的部件的影像中只顯示輪廓線的第二形式顯示所述第一部件的影像的步驟。

9.根據權利要求8所述的基板檢查方法，其中，

所述進一步顯示第一部件的影像的步驟包括：根據使用者的輸入，按照所述第二形式，按所述第一部件的實際配置方向顯示所述第一部件的步驟。

10.根據權利要求6所述的基板檢查方法，其中，

所述顯示差異的步驟將角度顯示為數值或圖形。

11.根據權利要求6所述的基板檢查方法，還包括：

測量貼裝了多個部件的測試基板的影像的步驟；

將分別關于所述多個部件的三維影像生成為分別關于所述多個部件的檢查基準的步驟；

將生成為關于所述多個部件中第一部件的所述檢查基準的三維影像，按所述第一部件的基準方向顯示的步驟；及

還顯示所述第一部件的基準方向與實際配置方向的差異的步驟。