[發明專利]X射線檢查方法以及X射線檢查裝置

有效

• 申請號: 201680042496.6
• 申請日: 2016-05-13
• 公開（公告）號: CN108307656B
• 公開（公告）日: 2021-10-19
• 發明（設計）人: 浦野雄太;張開鋒;的場吉毅;竹田明弘
• 申請（專利權）人: 日本株式會社日立高新技術科學
• 主分類號: G01N23/04
• 分類號: G01N23/04;G01N23/10;G01N23/18;G01N23/083
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 高迪

本發明的目的在于，在X射線檢查裝置中，對于有厚度的被檢查物，也不會惡化空間分辨率就能夠進行基于時間延遲積分的檢測。本發明的X射線檢查裝置(100)具備：X射線源(1)，產生X射線；輸送部(3)，輸送試料(S)；檢測部，具備檢測由X射線源(1)產生并透射了由輸送部(3)輸送的試料(S)的X射線的時間延遲積分(TDI)型的檢測器(4)；以及缺陷判定部(7)，對由時間延遲積分型的檢測器(4)進行檢測而得到的信號進行處理，判定試料中的缺陷，輸送部(3)在試料(S)通過檢測部的時間延遲積分型的檢測器(4)前時，一邊與輸送同步地使試料(S)旋轉，一邊輸送。

技術領域

本發明涉及向試料照射X射線、基于透射了試料的X射線的強度分布來檢查試料的X射線檢查方法以及X射線檢查裝置。

背景技術

在日本特開2011－242374號公報(專利文獻1)中記載了即使X射線產生部所產生的X射線的輸出低也能夠高靈敏度地檢測異物的X射線檢查裝置。該公報中記載有“具備：X射線檢測器10，按多個檢測元件列101～108的每個段，將從各檢測元件得到的檢測數據通過時間延遲積分進行合成，并輸出合成數據；以及判定部44，基于由X射線檢測器10輸出的合成數據，判定被檢查物W中是否有異物。具備段數設定部46，該段數設定部46根據被檢查物W的厚度信息，設定作為由X射線檢測器10進行的時間延遲積分的對象的檢測元件列的段數。”。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2011－242374號公報

發明內容

發明要解決的問題

上述專利文獻1中記載了即使X射線產生部所產生的X射線的輸出低也能夠高靈敏度地檢測異物的X射線檢查裝置。但是，專利文獻1中記載的X射線檢查裝置在被檢查物的厚度大的情況下，成為時間延遲積分的對象的檢測元件列的段數被設定得小，因此與厚度小的情況相比檢測輸出低，有難以進行高靈敏度的異物檢測的問題。

本發明的目的在于，提供一種針對有厚度的被檢查物也能夠不使空間分辨率惡化來進行基于時間延遲積分的檢測的X射線檢查方法以及X射線檢查裝置。

用于解決問題的手段

為了解決上述問題，本發明中，使X射線檢查裝置具備以下部分而構成：X射線源，產生X射線；輸送部，輸送試料；檢測部，具備時間延遲積分型的檢測器，該時間延遲積分型的檢測器檢測由X射線源產生并透射了由輸送部輸送的試料(樣本、樣品、sample)的X射線；以及缺陷判定部，對由檢測部的時間延遲積分型的檢測器檢測透射了試料的X射線而得到的信號進行處理，判定試料中的缺陷，輸送部在試料通過檢測部的時間延遲積分型的檢測器前時，一邊與輸送同步地使試料旋轉，一邊輸送。

此外，為了解決上述的課題，本發明中，對由輸送部輸送的試料照射從X射線源產生的X射線；由時間延遲積分型的檢測器檢測透射了被照射到X射線的試料的X射線；對由時間延遲積分型的檢測器檢測透射了試料的X射線而得到的信號進行處理，判定試料中的缺陷，在該X射線檢查方法中，在試料通過檢測部的時間延遲積分型的檢測器前時，一邊與輸送同步地使試料旋轉，一邊對試料照射X射線。

發明效果

根據本發明，在X射線檢查方法以及X射線檢查裝置中，使用了時間延遲積分型的檢測器的情況下，針對有厚度的被檢查物也能夠不使空間分辨率惡化而高靈敏度地檢測微細的缺陷。

上述以外的課題、結構以及效果通過以下的實施方式的說明而變得明確。

附圖說明

圖1是本發明的第1實施例的X射線檢查裝置的結構圖。

圖2A是表示本發明的第1實施例的試料輸送裝置中的X射線源的焦點和容器及TDI相機的關系的框圖。