[發(fā)明專利]X射線檢查方法以及X射線檢查裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201680042496.6
• 申請日: 2016-05-13
• 公開（公告）號: CN108307656B
• 公開（公告）日: 2021-10-19
• 發(fā)明（設計）人: 浦野雄太;張開鋒;的場吉毅;竹田明弘
• 申請（專利權）人: 日本株式會社日立高新技術科學
• 主分類號: G01N23/04
• 分類號: G01N23/04;G01N23/10;G01N23/18;G01N23/083
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 高迪

1.一種X射線檢查裝置，其特征在于，具備：

X射線源，產生X射線；

輸送部，輸送試料；

檢測部，具備時間延遲積分型的檢測器，該時間延遲積分型的檢測器檢測由所述X射線源產生并透射了由所述輸送部輸送的所述試料的X射線；以及

缺陷判定部，對由所述檢測部的時間延遲積分型的檢測器檢測透射了所述試料的X射線而得到的信號進行處理，判定所述試料中的缺陷，

所述輸送部在所述試料通過所述檢測部的所述時間延遲積分型的檢測器前時，一邊與所述輸送同步地使所述試料旋轉一邊輸送，

在設所述試料旋轉的角速度為ω、從由所述X射線源產生的所述X射線的焦點位置到所述試料的旋轉中心的距離為L0、所述試料在輸送方向上的直線移動速度為v的情況下，所述角速度ω滿足ω＝v/L0，

所述時間延遲積分型的檢測器的時間延遲積分的幅度小于從所述焦點位置到所述試料的旋轉中心的距離L0。

2.如權利要求1所述的X射線檢查裝置，其特征在于，

所述輸送部一邊使所述試料以所述試料的中心軸為旋轉中心軸與所述輸送同步地旋轉，一邊輸送。

3.如權利要求1所述的X射線檢查裝置，其特征在于，

所述輸送部一邊使所述試料以傾斜的狀態(tài)以所述傾斜的試料的中心軸為旋轉中心軸與所述輸送同步地旋轉，一邊輸送。

4.如權利要求1所述的X射線檢查裝置，其特征在于，

所述輸送部一邊使所述試料與所述輸送同步地以從所述X射線源產生的X射線的焦點位置為旋轉中心而旋轉，一邊輸送。

5.如 權利要求1所述 的X射線檢查裝置，其特征在于，

所述輸送部一邊使所述試料以傾斜的狀態(tài)與所述輸送同步地以從所述X射線源產生的X射線的焦點位置為旋轉中心而旋轉，一邊輸送。

6.如權利要求1所述的X射線檢查裝置，其特征在于，

所述檢測部具備多個所述時間延遲積分型的檢測器，所述輸送部在使所述試料通過所述檢測部的所述多個時間延遲積分型的檢測器前時，一邊按各個所述時間延遲積分型的檢測器改變所述試料的傾斜角或方位角來與所述輸送同步地使所述試料旋轉，一邊輸送。

7.如權利要求1所述的X射線檢查裝置，其特征在于，

所述輸送部將所述試料收納在透射X射線的容器中來輸送。

8.如權利要求7所述的X射線檢查裝置，其特征在于，

所述容器為醫(yī)藥用管瓶，在所述檢測部中，所述時間延遲積分型的檢測器檢測從所述容器的側面對收納在所述容器中的試料照射由所述X射線源產生的X射線并透射了所述試料的X射線。

9.一種X射線檢查方法，其特征在于，

對由輸送部輸送的試料照射從X射線源產生的X射線；

由檢測部的時間延遲積分型的檢測器檢測透射了被照射到所述X射線的所述試料的X射線；

對由所述時間延遲積分型的檢測器檢測透射了所述試料的X射線而得到的信號進行處理，判定所述試料中的缺陷，

在所述試料通過所述檢測部的所述時間延遲積分型的檢測器前時，一邊與所述輸送同步地使所述試料旋轉，一邊對所述試料照射所述X射線，

在設所述試料旋轉的角速度為ω、從由所述X射線源產生的所述X射線的焦點位置到所述試料的旋轉中心的距離為L0、所述試料在輸送方向上的直線移動速度為v的情況下，所述角速度ω滿足ω＝v/L0，

所述時間延遲積分型的檢測器的時間延遲積分的幅度小于從所述焦點位置到所述試料的旋轉中心的距離L0。

10.如權利要求9所述的X射線檢查方法，其特征在于，

在所述試料通過所述檢測部的所述時間延遲積分型的檢測器前時，一邊使所述試料以所述試料的中心軸為旋轉中心軸與所述輸送同步地旋轉，一邊輸送。