[發明專利]玻璃板的制造方法及其制造裝置

有效

• 申請號: 201680038286.X
• 申請日: 2016-08-23
• 公開（公告）號: CN107709260B
• 公開（公告）日: 2020-07-31
• 發明（設計）人: 高橋祐之;大野和宏;中塚弘樹;巖田正和
• 申請（專利權）人: 日本電氣硝子株式會社
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 劉影娜

在使具有供氣口(26)以及排氣口(30)的下部結構體(11)的上表面(14)與上部結構體(10)的下表面(13)對置配置而形成于對置的所述上表面與所述下表面這兩面(13、14)彼此之間的處理空間(15)內，利用從供氣口(16)噴出并被排氣口(30)吸入的處理氣體(5)來對沿著水平方向搬運的玻璃板(3)的下表面(3a)實施蝕刻處理，并且，使供氣口(26)與排氣口(30)在玻璃板(3)搬運方向上位于分離開的位置。而且，在下部結構體(11)的上表面(14)中，使從排氣口(30)至供氣口(26)為止的區域中的最高位的上表面部(22a)高于排氣口(30)的處理氣體流動方向下游側的區域中的最高位的上表面部(18ab)。

技術領域

本發明涉及具有使用氟化氫等處理氣體來對玻璃板實施蝕刻處理的工序的玻璃板的制造方法及其制造裝置。

背景技術

眾所周知，在平板顯示器(FPD)、智能手機、平板型PC等移動設備、其他的各種電子器件等中組裝有各種板厚、尺寸的玻璃板，其中，平板顯示器以液晶顯示器、等離子顯示器、有機EL顯示器、場發射顯示器等為代表。

在用于對作為這種最終產品的玻璃板進行制作的基礎的玻璃板的制造工序中，可能產生因帶靜電而引起的問題。例如，在作業臺上載置玻璃板而實施規定的處理時，可能產生因帶靜電而引起玻璃板貼附于作業面的狀況。因此，在使完成規定的處理的玻璃板從作業臺剝離時，可能導致該玻璃板的破損。

作為上述問題的對策，正在推進如下的嘗試：將氟化氫等處理氣體噴涂于玻璃板而實施蝕刻處理，使該玻璃板的表面粗糙化，由此來解決上述的因帶靜電而引起的問題。

作為該具體例，根據專利文獻1，公開了如下的方案：在沿著一定的搬運路徑搬運的玻璃板通過處理空間時，利用從噴嘴的噴出口噴出并被吸嘴的吸入口吸入的處理氣體來對該玻璃板的下表面實施蝕刻處理。

詳細地說，在該文獻公開的蝕刻裝置中，在上部結構體(上側的結構部)的下表面與下部結構體(下側的結構部)的上表面彼此之間形成有用于對搬運中的玻璃板的下表面實施蝕刻處理的處理空間。在該情況下，上部結構體僅由頂板形成。另一方面，下部結構體通過將配置于玻璃板的搬運方向后側(搬運路徑的上游側)的噴嘴、配置于玻璃板的搬運方向前側(搬運路徑的下游側)的吸嘴、以及夾設于該兩個噴嘴間的底板一體化而形成。而且，作為下部結構體的噴嘴、底板以及吸嘴的各上表面成為共面狀態。因此，在下部結構體的不具有高低差的上表面形成有向處理空間噴出處理氣體的噴出口和從處理空間吸入處理氣體的吸入口。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：國際公開第2011/105331號

發明內容

發明要解決的課題

然而，在專利文獻1公開的蝕刻裝置中，下部結構體的上表面整個區域為不具有高低差的平面，因此，在處理空間中對玻璃板實施蝕刻處理時，產生以下所示的問題。

即，在處理氣體在處理空間中沿著玻璃板的下表面流動時，空氣從處理氣體的流動方向的上游側和下游側朝向下部結構體的上表面上的排氣口流入。而且，來自上游側的空氣的流動方向與處理氣體的流動方向相同，因此，來自上游側的空氣與處理氣體匯合而沿著玻璃板的下表面流動。與此相對，來自下游側的空氣的流動方向與處理氣體的流動方向相反，在處理空間中的處理氣體的流動方向的下游端附近與處理氣體一起被向排氣口吸入。

在該情況下，當下部結構體的上表面整個區域是不具有高低差的平面時，對來自上游側的空氣的流動施加的流通阻力(通路阻力)非常小。因此，大量的空氣從上游側向處理空間流入，使沿著玻璃板的下表面流動的處理氣體稀化。其結果是，處理氣體對玻璃板的下表面的粗糙化能力不足，難以實現符合要求的玻璃板的下表面的粗糙化，可能導致粗糙化處理發生不均勻等問題。