[發明專利]玻璃板的制造方法及其制造裝置

有效

• 申請號: 201680038286.X
• 申請日: 2016-08-23
• 公開（公告）號: CN107709260B
• 公開（公告）日: 2020-07-31
• 發明（設計）人: 高橋祐之;大野和宏;中塚弘樹;巖田正和
• 申請（專利權）人: 日本電氣硝子株式會社
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 劉影娜

1.一種玻璃板的制造方法，其在使具有供氣口以及排氣口的下部結構體的上表面與上部結構體的下表面對置配置而形成于對置的所述上表面與所述下表面這兩面彼此之間的處理空間內，利用從所述供氣口噴出并向所述排氣口吸入的處理氣體來對沿著水平方向搬運的玻璃板的下表面實施蝕刻處理，并且使所述供氣口與所述排氣口在玻璃板搬運方向上位于分離開的位置，

所述玻璃板的制造方法的特征在于，

在所述下部結構體的上表面中，使從所述排氣口至所述供氣口為止的區域中的最高位的上表面部高于所述排氣口的處理氣體流動方向下游側的區域中的最高位的上表面部。

2.根據權利要求1所述的玻璃板的制造方法，其特征在于，

在所述下部結構體的上表面中，使所述供氣口的處理氣體流動方向上游側的區域中的最高位的上表面部高于所述排氣口的處理氣體流動方向下游側的區域中的最高位的上表面部。

3.根據權利要求1或2所述的玻璃板的制造方法，其特征在于，

在所述下部結構體的上表面中，使從所述排氣口至所述供氣口為止的區域中的最高位的上表面部與所述供氣口的處理氣體流動方向上游側的區域中的最高位的上表面部為同一高度。

4.根據權利要求1所述的玻璃板的制造方法，其特征在于，

在所述下部結構體的上表面中，使從所述排氣口至所述供氣口為止的區域中的最高位的上表面部高于所述供氣口的處理氣體流動方向上游側的區域中的最高位的上表面部。

5.根據權利要求1或4所述的玻璃板的制造方法，其特征在于，

在所述下部結構體的上表面中，使所述排氣口的處理氣體流動方向下游側的區域中的最高位的上表面部與所述供氣口的處理氣體流動方向上游側的區域中的最高位的上表面部為同一高度。

6.根據權利要求1或2所述的玻璃板的制造方法，其特征在于，

從所述排氣口至所述供氣口為止的區域中的最高位的上表面部與正被實施蝕刻處理的玻璃板的下表面之間的上下方向分離尺寸小于該玻璃板的上表面與所述上部結構體的下表面之間的上下方向分離尺寸。

7.一種玻璃板的制造裝置，其在使具有供氣口以及排氣口的下部結構體的上表面與上部結構體的下表面對置配置而形成于對置的所述上表面與所述下表面這兩面彼此之間的處理空間內，利用從所述供氣口噴出并向所述排氣口吸入的處理氣體來對沿著水平方向搬運的玻璃板的下表面實施蝕刻處理，并且使所述供氣口與所述排氣口在玻璃板搬運方向上位于分離開的位置，

所述玻璃板的制造裝置的特征在于，

在所述下部結構體的上表面中，從所述排氣口至所述供氣口為止的區域中的最高位的上表面部高于所述排氣口的處理氣體流動方向下游側的區域中的最高位的上表面部。