[發明專利]傳感器組合件和確定光刻系統的多個反射鏡各自的位置的方法

有效

• 申請號: 201680028907.6
• 申請日: 2016-05-02
• 公開（公告）號: CN107850849B
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發明（設計）人: J.霍恩;S.克朗;L.伯杰
• 申請（專利權）人: 卡爾蔡司SMT有限責任公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G01B11/14
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 邱軍

1.傳感器布置，所述傳感器布置確定光刻設備(100)的多個反射鏡(M1-M6)各自的位置，具有：

多個位置傳感器設備(140)，其中各個所述位置傳感器設備(140)包括測量單元(201)、光源(203)、檢測單元(204)和信號處理單元(207)，其中所述測量單元在通過光束曝光的情況下，提供反射鏡(M1-M6)的位置的光學位置信號，所述光源以所述光束曝光所述測量單元(201)，所述檢測單元具有通過檢測所提供的光學位置信號來輸出模擬電位置信號的多個光檢測器(205)，且所述信號處理單元具有將所述模擬電位置信號轉換為數字電位置信號(DP)的至少一個A/D轉換器(208)，其中在布置在真空外殼(137)中的單個集成部件(200)中至少提供所述光源(203)和所述信號處理單元(207)；以及評估設備(304)，所述評估設備通過所述數字電位置信號(DP)確定所述反射鏡(M1-M6)的位置，其中所述集成部件設置有保護防止放氣的層。

2.如權利要求1所述的傳感器布置，其中在所述集成部件(200)中提供所述光源(203)、所述信號處理單元(207)和所述檢測單元(204)的光檢測器(205)。

3.如權利要求1或2所述的傳感器布置，其中所述檢測單元(204)還具有光學單元(206)，所述光學單元配置為將由所述測量單元(201)提供的光學位置信號成像至所述光檢測器(205)上。

4.如權利要求1或2所述的傳感器布置，具有：

在所述真空外殼(137)中布置的多個位置傳感器設備(140)，即N3個位置傳感器設備，其中各位置傳感器設備(140)分配給所述光刻設備(100)的多個可致動反射鏡(M2-M6)，即N2個可致動反射鏡中的一個；以及

在真空外殼(137)中布置的數據收集設備(404)，所述數據收集設備通過數據鏈路連接至布置在所述真空外殼(137)外面的所述評估設備(304)，并且所述數據收集設備配置為將所述N3個位置傳感器設備(140)提供的N3個數字電位置信號集合或組合來形成數字收集信號(DS)，并且經由所述數據鏈路將所述數字收集信號(DS)傳輸至所述評估設備(304)。

5.如權利要求4所述的傳感器布置，其中所述數據收集設備(404)和所述評估設備(304)經由單個數據鏈路連接。

6.如權利要求4所述的傳感器布置，其中在所述數據收集設備(404)和所述評估設備(304)之間的所述數據鏈路實施為單向的數據鏈路。

7.如權利要求4的所述傳感器布置，其中所述數據鏈路具有真空穿通連接設備(302)、第一數據線路(401)和第二數據線路(402)，所述真空穿通連接設備(302)用于穿過所述真空外殼(137)的適合真空的穿通連接；所述第一數據線路(401)耦接在所述數據收集設備(404)和所述真空穿通連接設備(302)之間；且該第二數據線路(402)耦接在所述真空穿通連接設備(302)和所述評估設備(304)之間。

8.如權利要求7所述的傳感器布置，其中通過各自的線路(403)，所述數據收集設備(404)連接至所述N3個位置傳感器設備(140)中的每一個。

9.如權利要求8所述的傳感器布置，其中連接器支架(301)與所述數據收集設備(404)和所述第一數據線路(401)電耦接。

10.如權利要求4所述的傳感器布置，具有：

在所述真空外殼(137)中布置的多個位置傳感器設備(140)，即N3個位置傳感器設備，其中各位置傳感器設備(140)分配給所述光刻設備(100)的多個可致動反射鏡(M1-M6)，即N2個可致動反射鏡中的一個；以及

總線系統(501)，其至少部分地布置在所述真空外殼(137)中，所述總線系統與在所述真空外殼(137)外面布置的所述評估設備(304)連接，且配置為將通過所述N3個位置傳感器設備(140)提供的所述N3個數字電位置信號(DP)傳輸至所述評估設備(304)。