[發明專利]具有MEMS聲音轉換器的聲音轉換器組件

有效

• 申請號: 201680027830.0
• 申請日: 2016-05-10
• 公開（公告）號: CN107864696B
• 公開（公告）日: 2021-02-02
• 發明（設計）人: 安德里亞·韋斯高尼·克萊里西·貝爾特拉米;費魯喬·博托尼
• 申請（專利權）人: 悠聲股份有限公司
• 主分類號: H04R1/24
• 分類號: H04R1/24;H04R1/28;H04R17/00;H04R19/00
• 代理公司: 北京啟坤知識產權代理有限公司 11655
• 代理人: 趙晶

本發明涉及一種聲音轉換器組件，其具有用于制造并且/或者獲取在可聽見的波長頻譜內的聲波的第一MEMS聲音轉換器(21)，該第一MEMS聲音轉換器包括第一空穴(41)，并且具有與該第一MEMS聲音轉換器導電地連接的ASIC(11)。根據本發明，該ASIC(11)被埋入到第一基層(10)內，并且該第一MEMS聲音轉換器(21)布置在第二基層(20)上。此外設置，該第一基層(10)和該第二基層(20)相互導電地連接，并且該第一空穴(41)至少部分地構造在第一并且/或者第二基層(10、20)內。

技術領域

本發明涉及一種聲音轉換器組件，其具有用于制造并且/或者獲取在可聽見的波長頻譜內的聲波的MEMS聲音轉換器，該MEMS聲音轉換器包括一個空穴，并且具有與該MEMS聲音轉換器導電地連接的ASIC。這樣的聲音轉換器組件可以尺寸非常小并且因而作為擴音器和/或麥克風被例如使用在聽力器具、耳機、移動電話、平板電腦和其它的電子器具內，這些器具僅提供小的安裝空間。

背景技術

名稱MEMS代表微電子機械系統。用于制造聲音的MEMS聲音轉換器或者MEMS擴音器例如由專利文獻DE102012220819A1已知。聲音制造通過MEMS擴音器的可振動地支承的膜片實現。這樣的聲音轉換器組件根據各個應用領域的聲學和其它的要求專門地構造并且由大量各種不同的元件構成。這樣的聲音轉換器組件的主要缺點在于，它的制作相應地復雜、時間和成本費用高。

發明內容

本發明的任務是，創造一種聲音轉換器組件，其簡單地構造并且能夠被簡易地制作。

任務通過具有本發明的特征的聲音轉換器組件以及制作方法而被解決。

本發明提出一種聲音轉換器組件，其具有包括第一空穴的第一MEMS聲音轉換器，并且具有與該第一MEMS聲音轉換器導電地連接的ASIC。MEMS聲音轉換器是用于制造并且/或者獲取在可聽見的波長頻譜內的聲波的微電子機械系統。優選，MEMS聲音轉換器電子機械地、靜電地并且/或者壓電地驅動。ASIC是電子專用集成電路(英文:application-specific integrated Circuit)，其適用于運行MEMS聲音轉換器。概念“空穴”可以理解成空腔，借助其能夠使MEMS聲音轉換器的聲壓加強。根據本發明，ASIC被埋入到第一基層內，而第一MEMS聲音轉換器布置在第二基層上。由此，具有內置的ASIC的第一基層和具有至少部分內置的MEMS聲音轉換器的第二基層代表兩個單獨的，即彼此分開地制作的，構件。第一和第二基層相互連接。因而它們具有共同的連接區域，在其中它們直接相互貼靠。在兩個基層之間的連接優選通過材料鎖合而制作，其中，它們優選相互粘貼。附加地或者替換地，所述連接也可以借助形狀鎖合和/或力鎖合制作。所述兩個基層這樣地相互連接，使得ASIC和第一MEMS聲音轉換器導電地相互耦合或者連接。

在聲音轉換器組件的制作中無法避免地出現一定的廢品。借助根據本發明的聲音轉換器組件可以減少由廢品產生的附加成本，其方式是，首先彼此分開地制作基層。然后檢測它們的各個至少一個的電子部件，即ASIC或者MEMS聲音轉換器，的功能有效性。只有在它們的功能有效性為正時-即當保證，ASIC和/或MEMS聲變換在各個置入或者埋入過程中沒有被損壞時-，才將它們相互連接，尤其粘貼。因而可以保證，分別僅兩個功能正常的基層才被相互連接成聲音轉換器組件。

此外提出這樣的聲音轉換器組件的制作方法，其根據本發明包括這些步驟：

-將所述ASIC布置或者埋入到第一基層內，

-將所述MEMS聲音轉換器布置在第二基層上，

-使該第一基層和該第二基層相互導電地連接。

提出的聲音轉換器組件和提出的方法都為制作提供了很多優點。當ASIC完全置入到第一基層內并且/或者第一空穴至少部分地構造在第一并且/或者第二基層內時，可以使聲音轉換器組件非常結構空間節省地構造。