[發明專利]具有MEMS聲音轉換器的聲音轉換器組件

有效

• 申請號: 201680027830.0
• 申請日: 2016-05-10
• 公開（公告）號: CN107864696B
• 公開（公告）日: 2021-02-02
• 發明（設計）人: 安德里亞·韋斯高尼·克萊里西·貝爾特拉米;費魯喬·博托尼
• 申請（專利權）人: 悠聲股份有限公司
• 主分類號: H04R1/24
• 分類號: H04R1/24;H04R1/28;H04R17/00;H04R19/00
• 代理公司: 北京啟坤知識產權代理有限公司 11655
• 代理人: 趙晶

1.一種聲音轉換器組件(1)，其具有用于產生或者獲取在可聽見的波長頻譜內的聲波的第一MEMS聲音轉換器(21)，該第一MEMS聲音轉換器包括第一空穴(41)，并且具有

與該第一MEMS聲音轉換器導電地連接的ASIC(11)，

其特征在于，

該ASIC(11)被埋入到第一基層(10)內，

該第一MEMS聲音轉換器(21)布置在第二基層(20)內或者第二基層(20)上，

第一空穴(41)至少部分地構造在第一基層(10)和/或第二基層(20)中；

該第一基層(10)和該第二基層(20)相互連接，使得該ASIC(11)和該第一MEMS聲音轉換器(21)相互電耦合；

在第三基層(30)上布置第二MEMS聲音轉換器(31)，

所述第一基層(10)和所述第三基層(30)相互導電地連接，

所述第一基層(10)布置在所述第二基層(20)和所述第三基層(30)之間，并且

所述第二MEMS聲音轉換器(31)的第二空穴(42)至少部分地構造在所述第一基層(10)和/或第三基層(30)內，并且

兩個空穴(41、42)通過所述第一基層(10)的間壁(17)而相互分開。

2.根據權利要求1所述的聲音轉換器組件，其特征在于，

相鄰的兩個基層相互焊封或者借助能導電的粘合劑而粘貼。

3.根據權利要求1所述的聲音轉換器組件，其特征在于，

所述間壁(17)具有至少一個從所述第一空穴(41)延伸到所述第二空穴(42)的連接孔(90)。

4.根據權利要求1所述的聲音轉換器組件，其特征在于，所述間壁(17)具有至少一個加固元件(14)。

5.根據權利要求1所述的聲音轉換器組件，其特征在于，在第二基層(20)內構造平衡孔(26)和/或壓力平衡氣道(70)，其使第一空穴(41)與周圍環境連通。

6.根據權利要求1所述的聲音轉換器組件，其特征在于，至少一個空穴被至少部分地用多孔材料(5)填充。

7.根據權利要求1所述的聲音轉換器組件，其特征在于，

所述聲音轉換器組件(1)具有殼體件(50)，該殼體件具有聲學進口/出口孔(51)，該聲學進口/出口孔(51)布置在所述聲音轉換器組件(1)的外面(55)上，和/或

該殼體件與第一基層(10)、第二基層(20)和第三基層(30)連接，使得在所述殼體件(50)和至少一個基層之間至少部分地構造第一聲音氣道(61)和第二聲音氣道(67)。

8.根據權利要求7所述的聲音轉換器組件，其特征在于，

所述第一聲音氣道(61)具有構造在所述殼體件(50)和第二基層(20)之間的第一部分(62)或完全地構造在所述殼體件(50)內的第二部分(63)；

所述第二聲音氣道(67)具有構造在所述殼體件(50)和第三基層(30)之間的第一部分(68)或完全地構造在所述殼體件(50)內的第二部分(69)。

9.根據權利要求7所述的聲音轉換器組件，其特征在于，

所述聲音轉換器組件(1)具有聲音引導元件(64)，該聲音引導元件(64)具有至少一個凹形的聲音引導棱邊(65)，該聲音引導棱邊布置在所述殼體件(50)與第一基層(10)和第二基層(20)之間，在所述第一聲音氣道(61)的第一部分(62)和第二部分(63)之間的過渡區域內。

10.根據權利要求9所述的聲音轉換器組件，其特征在于，

所述聲音引導元件(64)和/或所述聲音引導棱邊(65)構造為，使得由所述MEMS聲音轉換器(21、31)產生的聲音能夠在所述聲音氣道的第二部分的方向上被集中到所述聲學進口/出口孔(51)，

和/或

即將被所述MEMS聲音轉換器(21、31)獲取的聲音在所述聲音氣道的第一部分的方向上被集中到所述MEMS聲音轉換器。