[發(fā)明專利]支持執(zhí)行并行測量的多引腳探針

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201680024452.0
• 申請日: 2016-04-28
• 公開（公告）號: CN107636476B
• 公開（公告）日: 2021-02-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱南昌;施斌（朱斌）
• 申請（專利權(quán)）人: 科磊股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R27/14;G01R31/26;G01R19/00;G01R33/09
• 代理公司: 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 張世俊

本發(fā)明公開多引腳探針及用于控制此類多引腳探針以支持并行測量的方法。所述方法可包含：建立多引腳探針與測量對象之間的電接觸；從所述多引腳探針中所包含的多個引腳選擇兩個引腳來作為電流載運(yùn)引腳；從所述多引腳探針中所包含的所述多個引腳選擇多于兩個額外引腳來作為電壓計(jì)量引腳；通過所述電流載運(yùn)引腳注入電流；通過所述電壓計(jì)量引腳同時測量電壓信號；至少部分地基于通過所述電壓計(jì)量引腳所同時測量出的所述電壓信號而計(jì)算經(jīng)模擬電壓分布曲線；及至少部分地基于所述經(jīng)模擬電壓分布曲線而確定所述測量對象的一或多個處理器監(jiān)測參數(shù)。

相關(guān)申請案的交叉參考

本申請案依據(jù)35U.S.C.§119(e)主張2015年4月29日提出申請的序列號為62/154,233的美國臨時申請案的權(quán)益，所述序列號為62/154,233的美國臨時申請案特此以全文引用的方式并入。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開大體來說涉及測量裝置領(lǐng)域，且特定來說涉及使用多引腳探針的測量裝置。

背景技術(shù)

多引腳探針是包含多個引腳的探針。通常被稱為電流面內(nèi)隧穿(或CIPT)的測量技術(shù)使用多引腳探針來進(jìn)行對磁性隧道結(jié)電阻的測量。

更具體來說，電流面內(nèi)隧穿以多個測量步驟進(jìn)行測量。每一測量步驟均通過選擇多引腳探針中的引腳中的四個著手。選定引腳中的兩個耦合到電流源且選定引腳中的另外兩個耦合到電壓表。使電流通過兩個電流載運(yùn)引腳且通過兩個電壓計(jì)量引腳測量電壓。接著，重復(fù)此測量步驟多次(在每一測量步驟中具有四個引腳的不同選擇/耦合)以提取磁性隧道結(jié)電阻。

注意，電流面內(nèi)隧穿測量過程的重復(fù)性質(zhì)意味著在不同時間處執(zhí)行測量步驟。還需要相對長的時間周期來完成測量過程(例如，在八個或更多個測量步驟中)，在此期間引腳可能改變位置，此導(dǎo)致測量出現(xiàn)變化及不準(zhǔn)確性。

發(fā)明內(nèi)容

本公開的實(shí)施例針對一種系統(tǒng)。所述系統(tǒng)可包含具有N個引腳的多引腳探針，其中N大于四。所述系統(tǒng)還可包含經(jīng)配置以利用所述多引腳探針來對測量對象進(jìn)行測量的控制電路。所述控制電路可經(jīng)配置以：從所述多引腳探針中所包含的所述N個引腳選擇兩個電流載運(yùn)引腳；從所述多引腳探針中所包含的所述N個引腳選擇多于兩個電壓計(jì)量引腳；通過所述兩個電流載運(yùn)引腳注入電流；通過所述多于兩個電壓計(jì)量引腳同時測量電壓信號；至少部分地基于通過所述多于兩個電壓計(jì)量引腳所同時測量出的所述電壓信號而計(jì)算經(jīng)模擬電壓分布曲線；且至少部分地基于所述經(jīng)模擬電壓分布曲線而確定所述測量對象的一或多個處理器監(jiān)測參數(shù)。

本公開的另一實(shí)施例針對一種系統(tǒng)。所述系統(tǒng)可包含具有N個引腳的多引腳探針，其中N大于四。所述系統(tǒng)還可包含經(jīng)配置以利用所述多引腳探針來對測量對象的結(jié)參數(shù)進(jìn)行測量的控制電路。所述控制電路可經(jīng)配置以：從所述多引腳探針中所包含的所述N個引腳選擇兩個電流載運(yùn)引腳；從所述多引腳探針中所包含的所述N個引腳選擇多于兩個電壓計(jì)量引腳；通過所述兩個電流載運(yùn)引腳注入電流；通過所述多于兩個電壓計(jì)量引腳同時測量電壓信號；至少部分地基于通過所述多于兩個電壓計(jì)量引腳所同時測量出的所述電壓信號而計(jì)算經(jīng)模擬電壓分布曲線；且至少部分地基于所述經(jīng)模擬電壓分布曲線而提取所述測量對象的一或多個結(jié)參數(shù)。

本公開的額外實(shí)施例針對一種方法。所述方法可包含：建立多引腳探針與測量對象之間的電接觸；從所述多引腳探針中所包含的多個引腳選擇兩個引腳來作為電流載運(yùn)引腳；從所述多引腳探針中所包含的所述多個引腳選擇多于兩個額外引腳來作為電壓計(jì)量引腳；通過所述電流載運(yùn)引腳注入電流；通過所述電壓計(jì)量引腳同時測量電壓信號；至少部分地基于通過所述電壓計(jì)量引腳所同時測量出的所述電壓信號而計(jì)算經(jīng)模擬電壓分布曲線；及至少部分地基于所述經(jīng)模擬電壓分布曲線而確定所述測量對象的一或多個處理器監(jiān)測參數(shù)。

應(yīng)理解，前述一般描述及以下詳細(xì)描述兩者都僅具示范性及解釋性，且未必限制本公開。并入本說明書中且構(gòu)成本說明書的一部分的附圖圖解說明本公開的主題。說明與圖式一起用于解釋本發(fā)明的原理。